江苏省自然科学基金(BK2009620)

作品数：3被引量：4H指数：1
导出分析报告
相关作者：张兴旺王文静周春兰曹晓宁更多>>
相关机构：中国科学院更多>>
相关期刊：《材料导报》《中国建设动态（阳光能源）》更多>>
相关主题：晶体硅太阳电池氨气硅烷PECVD氮化硅膜更多>>
相关领域：电子电信化学工程更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
硅烷氨气比对PECVD氮化硅薄膜性能的影响被引量：1
《中国建设动态（阳光能源）》2011年第6期52-53,57,共3页屈盛 毛和璜 韩增华 曹晓宁 周春兰 王文静 张兴旺 
江苏省科技基础设施建设计划项目(BM2009611);江苏省自然科学基金项目(BK2009620)
利用PECVD在硅片上沉积SiNx:H薄膜,研究硅烷氨气流量比对SiNx:H薄膜的组分、折射率和钝化效果的影响。X射线光电子能谱(XPS)和椭偏仪的测试结果表明,硅烷氨气流量比(SAR)在0.09～0.38以内沉积的所有薄膜都呈现出富硅的组分,而且随着SAR...
关键词：晶体硅太阳电池 PECVD氮化硅薄膜 硅烷氨气比 
双层PECVD氮化硅膜晶体硅太阳电池被引量：2
《中国建设动态（阳光能源）》2011年第5期57-60,共4页屈盛 毛和璜 韩增华 汤叶华 周春兰 王文静 张兴旺 
江苏省科技基础设施建设计划项目(BM2009611);江苏省自然科学基金项目(BK2009620)
利用管式PECVD在太阳电池片上沉积双层折射率和厚度均不同的SiNx:H薄膜。这种双层SiNx:H薄膜是采用2个不同的硅烷氨气流量比在1次沉积过程中获得的,其第1子层(靠近硅片)具有较高的折射率和较薄的厚度,而第2子层具有较低的折射率和较厚...
关键词：晶体硅太阳电池 PECVD氮化硅双层膜 硅烷氨气比 
不同醇类对单晶硅绒面特性的影响被引量：1
《材料导报》2011年第2期10-12,共3页屈盛 张兴旺 毛和璜 余银祥 韩增华 汤叶华 周春兰 王文静 
江苏省科技基础设施建设计划项目(BM2009611);江苏省自然科学基金项目(BK2009620)
在单晶硅太阳电池的绒面制作过程中分别采用一元醇(乙醇、异丙醇)和二元醇(乙二醇、丙二醇)作为添加剂,比较它们对单晶硅绒面特性的影响。实验表明,一元醇可以降低化学反应速率,而二元醇可以加快反应速率,缩短制绒时间。二元醇相比一元...
关键词：晶体硅太阳电池 制绒 一元醇 二元醇 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部