国家自然科学基金(s10778602)

作品数：1被引量：5H指数：1
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Nb_5N_6 thin film on silicon and silicon oxide: A good material for terahertz detection被引量：5
《Chinese Science Bulletin》2009年第18期3344-3346,共3页LU XueHui HE Ning KANG Lin CHEN Jian JIN BiaoBing WU PeiHeng 
Supported by the National Basic Research Programme of China (Grant Nos. 2006CB601006 and 2007CB310404);National High-Tech R&D Programme of China (Grant No. 2006AA12Z120);National Natural Science Foundation of China (NSFC) (Grant Nos. 10778602 and 60721063)
Voltage responsivity of bolometer will benefit from high temperature coefficient of resistance (TCR) of the material. The Nb5N6 thin solid films we proposed in this paper have high TCR, compared with the commonly-used...
关键词：常用材料 二氧化硅 太赫兹 检测 薄膜 SI(100) 电阻温度系数 磁控溅射 
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