国家高技术研究发展计划(2007AA04Z342)

作品数：2被引量：3H指数：1
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体硅湿法腐蚀中(110)衬底上的凸角补偿方法被引量：1
《东南大学学报（自然科学版）》2010年第4期750-754,共5页张涵 李伟华 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2007AA04Z342)
从硅晶胞的空间原子结构出发,对(110)衬底进行研究,提出了针对(110)衬底上规则目标凸角结构的通用补偿方法.以(100)衬底上已提出的图形分析和共性补偿方法为依据,确定了(110)衬底表面特征晶向的平面关系,将所选70℃30%(质量分数)的KOH...
关键词：(110)衬底 凸角补偿 拓扑结构 通用方法 
体硅湿法加工中凸角切削现象的分析被引量：2
《仪器仪表学报》2010年第4期944-950,共7页张涵 李伟华 
国家863计划(2007AA04Z342)资助项目
以硅(100)衬底为基础,详细介绍了一种针对体硅湿法加工中各向异性腐蚀带来的凸角切削现象的理论分析方法,指出了凸角切削现象具有唯一性和方向性的结论。该方法首先对凸角侧边类型进行划分,再利用现有理论资源,对凸角侧边和切削方向在...
关键词：凸角切削 理论分析 各向异性湿法腐蚀 实验验证 
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