博士后科研启动基金(BSH-2004921032)

作品数：1被引量：1H指数：1
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PECVD镀膜机等离子体静电探针诊断被引量：1
《真空科学与技术学报》2009年第3期332-335,共4页王庆 巴德纯 徐香坤 徐化冰 
辽宁企业博士后项目资助(No.BSH-2004921032)
开发了一个朗缪尔探针等离子体诊断系统,对PECVD真空镀膜机进行了等离子体参数诊断。该镀膜机内的等离子体是电容偶合激发方式的氩等离子体,激发源为射频电源(13.56MHz)。在射频功率为40W到140W的范围内,使用该朗缪尔探针对镀膜机中氩...
关键词：等离子体增强化学气相沉积 镀膜机 等离子体诊断 朗缪尔探针 
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