国家自然科学基金(409741107)

作品数：2被引量：35H指数：2
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投影光刻物镜倍率的公差分析与补偿被引量：21
《光学学报》2011年第11期265-268,共4页许伟才 黄玮 杨旺 
国家自然科学基金(409741107)资助课题
为满足严格的套刻需求,双远心结构的投影光刻物镜需要选择恰当的元件移动来进行倍率的补偿和调节。提出了一种简单而实用的方法来进行倍率的公差分析。该方法利用商业优化设计软件和有限差分算法计算了多项公差对物镜倍率的敏感程度,同...
关键词：光学设计 倍率 公差分析 投影光刻物镜 
新型折反射式连续变焦系统设计被引量：14
《光学学报》2011年第6期230-234,共5页许伟才 黄玮 
国家自然科学基金(409741107)资助课题
针对长焦距、折反射式连续变焦望远系统的设计，提出了一种新的光学结构形式。该结构形式将可变光阑放置于球面主反射镜附近，避免了在变焦部分中使用浮动的可变光阑；然后利用二次成像结构和场镜减小变焦组元的径向尺寸，系统变焦部分...
关键词：光学设计 变焦距光学系统 二次成像 折反射 二级光谱 
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