国家重点基础研究发展计划(513080301)

作品数：1被引量：4H指数：1
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微波和高温器件的一种空气桥互连方法被引量：4
《Journal of Semiconductors》2008年第2期352-355,共4页林若兵 魏巍 冯倩 王冲 郝跃 
国家重大基础研究计划资助项目(批准号:513080301)~~
空气桥是单片微波集成电路MMICs的一种高速互连技术,其目的是减少微波大功率器件单位面积的寄生电容,提高器件的频率特性.文中提出了一种灵活性很强,应用于微波和高温器件的空气桥定型方法.该方法利用不同性质的光刻进行多层甩胶、低温...
关键词：空气桥 拱形 牺牲层技术 
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