中科院创新基金(CXJJ-09-S05)

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一种新型MEMS离面驱动器的设计与分析
《微纳电子技术》2009年第9期546-550,556,共6页任豪 姚军 胡放荣 邱传凯 
中科院创新基金资助项目(CXJJ-09-S05);所长基金项目(C06K022)
提出了一种基于静电排斥效应的MEMS离面驱动器,在消除静电拉入效应的同时得到了较大的静电排斥力。驱动器主要由三个下极板、一个上极板和弹簧梁组成。首先进行了静电排斥现象原理的分析,然后对弹簧梁中有和没有横梁时的弹性系数和模态...
关键词：微机电系统 静电排斥驱动器 蛇形弹簧梁 模态 行程 带宽 
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