“上海－应用材料研究与发展”基金(0315)

作品数：3被引量：13H指数：2
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相关作者：刘毓舒袁振宇徐东蔡炳初更多>>
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相关期刊：《功能材料与器件学报》《理化检验（物理分册）》《稀有金属材料与工程》更多>>
相关主题：微驱动器织构NITI形状记忆合金形状记忆合金X射线应力分析更多>>
相关领域：理学金属学及工艺一般工业技术更多>>
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溅射态原位加热NiTi形状记忆合金薄膜的结构性能研究被引量：2
《稀有金属材料与工程》2006年第11期1800-1802,共3页袁振宇 徐东 刘毓舒 蔡炳初 
上海市应用材料研究与发展基金(0315)
研究了原位加热溅射的NiTi形状记忆合金薄膜的结构,讨论了制备工艺及织构对薄膜相变特征的影响,采用电阻法及X射线衍射分析了薄膜的结构及相变过程,确定了最适合于微器件的溅射工艺。结果发现:溅射时采用原位加热可直接获得具有织构的...
关键词：NiTi形状记忆合金薄膜 原位加热 织构 微驱动器 
NiTi形状记忆合金薄膜的制备及形变特性被引量：8
《功能材料与器件学报》2006年第3期229-232,共4页袁振宇 徐东 刘毓舒 蔡炳初 
上海市应用材料研究与发展基金(No.0315)
研究了适用于微器件的溅射态N iTi形状记忆合金薄膜。讨论了溅射工艺及织构对薄膜结构和相变特征的影响。利用薄膜热相变特性制成了微驱动器,观察并分析了该器件的形变特性。结果表明:原位加热溅射可以获得具有织构的晶化薄膜;用该薄膜...
关键词：NiTi薄膜 形状记忆合金 织构 微驱动器 
薄膜X射线应力分析的实验方法被引量：3
《理化检验（物理分册）》2005年第9期447-450,共4页刘毓舒 
上海应用材料研究与发展基金(0315)
提出一种适用于薄膜材料X射线应力分析的试样三维定向模式,在X射线低掠入射的前提下允许按实验所需选择测量方向。高密勒指数晶面衍射和测量方向的合理选择有助于提高测量精度,也利于经典sin2ψ分析法实验线性关系的建立,从而简化了分...
关键词：薄膜材料 X射线应力分析 低掠入射X射线束 三维定向模式 测量方向 
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