中国工程物理研究院基金(20040215)

作品数：2被引量：2H指数：1
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掺溴非晶碳梯度薄膜的制备与分析被引量：2
《强激光与粒子束》2007年第1期83-85,共3页马兆侠 吴卫东 冯建鸿 程新路 唐永建 杨向东 
中国工程物理研究院基金资助课题(20040215);高温高密度等离子体物理国家重点实验室基金资助课题(51480030103ZW0802)
采用低压等离子增强化学气相沉积法用溴乙烷、氢气制备了掺溴的非晶碳梯度薄膜。通过样品的XPS能谱分析研究了薄膜沉积速率与氢气流量、溴元素原子分数与溴乙烷流量以及溴元素原子分数与刻蚀时间之间的关系,得出了溴乙烷流量、刻蚀时间...
关键词：低压等离子体 化学气相沉积 掺溴梯度薄膜 XPS能谱 非晶碳 
VB界面下用并口实现多通道质量流量计自动化控制
《工业控制计算机》2005年第10期72-74,共3页马兆侠 吴卫东 程新路 冯建鸿 唐永建 
中国工程物理研究院基金(20040215);高温高密度等离子体物理国家重点实验室基金(51480030103ZW0802)资助
分析了MKS公司生产的气体流量控制系统247CFour-ChannelReadout的工作原理,并通过实验得出系统的工作曲线,并设计出该仪器与PC并口的接口电路。控制软件用VB高级语言编写,界面友好,操作简便。其实现方法可供一般微电压信号控制仪器的自...
关键词：247C四通道流量读数计 并口 VB 自动化控制 自动化控制 VB界面 质量流量计 并口 多通道 流量控制系统 控制仪器 工作原理 工作曲线 
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