国防科技技术预先研究基金(51401010104JW05)

作品数：2被引量：4H指数：1
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DMD芯片在光栅投影三维轮廓测量技术中的应用被引量：3
《红外》2006年第9期24-28,共5页陈坦 赖建军 赵悦 
国防预研基金项目(编号:51401010104JW05)
光栅投影成像法经常用于物体的非接触形状测量和形变测量。通过莫尔相移法,可以实时获得物体表面的等高轮廓线。但是在测量高速运动物体三维轮廓图像时误差较大,因为相移法需要拍摄几张经过相移后的变形光栅。在加入了DMD芯片后,可以在...
关键词：光栅投影成像 莫尔相移法 数字微镜器件 三维物体成像 
32×32微镜阵列的ANSYS模拟和制造工艺研究被引量：1
《激光杂志》2006年第6期28-29,共2页赵悦 赖建军 陈坦 史锡婷 易新建 余建华 
国防预研基金(51401010104JW05)
基于ANSYS软件模拟设计了单元镜面面积为60×60μm2的32×32元微反射镜阵列,其工作频率可达到30KHz,最大扫描偏转角度为±10°,响应时间少于30μs。同时提出了一种基于表面薄膜工艺的加工方法,成功制作了该32×32元的微镜阵列,并进行了...
关键词：微镜阵列 ANSYS模拟 化学镀 表面工艺 
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