安徽高校省级自然科学研究基金(KJ2013A106)

作品数:2被引量:7H指数:1
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相关作者:夏广庆徐公林陈兆权胡希伟胡业林更多>>
相关机构:华中科技大学大连理工大学安徽理工大学更多>>
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相关主题:表面等离激元表面波等离子体表面波气体压强电离过程更多>>
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负偏压离子鞘及气体压强影响表面波放电过程的粒子模拟被引量:1
《物理学报》2014年第9期270-279,共10页陈兆权 殷志祥 陈明功 刘明海 徐公林 胡业林 夏广庆 宋晓 贾晓芬 胡希伟 
国家自然科学基金(批准号:11105002;工业装备结构分析国家重点实验室(大连理工大学)开放课题基金(批准号:GZ1215);安徽高校省级自然科学研究项目(批准号:KJ2013A106);安徽省自然科学基金(批准号:1408085QA16;1408085ME101);强电磁工程与新技术国家重点实验室(华中科技大学)开放课题基金资助的课题~~
由于表面电磁波沿着介质-等离子体分界面传播,而很难通过对传统的表面波等离子体(SWP)源施加负偏压实现金属材料溅射,因此限制了SWP源的使用范围.近期,一种基于负偏压离子鞘导波的SWP源克服了这个问题,且其加热机理是表面等离激元(SPP)...
关键词:表面波等离子体 表面等离激元 粒子模拟 离子鞘层 
气体压强及表面等离激元影响表面波等离子体电离发展过程的粒子模拟被引量:7
《物理学报》2013年第19期341-351,共11页陈兆权 夏广庆 刘明海 郑晓亮 胡业林 李平 徐公林 洪伶俐 沈昊宇 胡希伟 
国家自然科学基金(批准号:11105002);工业装备结构分析国家重点实验室开放基金(批准号:GZ1215);安徽高校省级自然科学研究项目(批准号:KJ2013A106);国家大学生创新训练计划项目(批准号:201210361058);安徽理工大学博士科研启动基金资助的课题~~
基于表面等离激元(SPP)的表面波等离子体(SWP)源,具有高密度、低温度及高产率等优异性能,其应用在电子器件微纳加工、材料改性等领域.但由于SPP激励SWP放电的电离过程难于用理论分析和实验测量描述,因而SWP源均匀稳定产生的电离发展过...
关键词:表面波等离子体 表面等离激元 粒子模拟 电离过程 
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