上海市科学技术委员会科研基金(09XD1404000)

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基于评价函数的极紫外多层膜反射式起偏器和检偏器设计
《强激光与粒子束》2011年第4期954-958,共5页谭默言 朱京涛 王占山 
国家自然科学基金项目(10825521,10876023);上海市科学技术委员会科研计划项目(09XD1404000,09ZR1434300)
基于三种不同评价函数,利用全局优化算法设计了极紫外波段高性能反射式多层膜偏振元件。通过比对不同评价函数的设计结果,分析了评价函数、工作角度及膜层数对反射式多层膜偏振片性能的影响,确定了极紫外多层膜反射式偏振片设计的角度...
关键词：多层膜 偏振 反射 极紫外 评价函数 
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