国家自然科学基金(51175318)

作品数：4被引量：10H指数：3
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大尺寸光学元件在位动态干涉拼接测量系统被引量：3
《光学精密工程》2017年第7期1764-1770,共7页于瀛洁 齐特 武欣 
国家重大科技专项(No.2013ZX04006011-217);国家自然科学基金资助项目(No.51175318)
为了满足车间条件下大口径光学元件的高精度在位、在线检测的迫切需求,本文构建了一个适于一般环境下应用的动态干涉拼接测量实验系统。该系统由动态干涉仪、二维移动平台、控制系统及拼接软件等部分构成。应用该系统对200mm×300mm×2...
关键词：光学检测 子孔径拼接 动态干涉仪 大口径光学元件 误差均化拼接 
平面光学元件平面度动态干涉拼接测量被引量：3
《计量学报》2016年第5期484-488,共5页张小强 武欣 王伟荣 于瀛洁 
国家自然科学基金(51175318);国家重大科技专项(2013ZX04006011-217)
开展了基于动态干涉仪的平面光学元件平面度干涉拼接测量，并研究了影响测量和拼接的主要误差。用二级减振的方法来抑制环境中振动的影响；根据允许的变化条纹数来控制二维移动平台导轨精度。建立了以ZYGO公司的DynaFiz干涉仪为子口径...
关键词：计量学 拼接测量 平面度 动态干涉仪 平面光学元件 
柱面面形干涉测量被引量：3
《计量学报》2015年第5期460-463,共4页于瀛洁 许海峰 彭军政 
国家自然科学基金(51175318);国家重大科技专项(2013ZX04006011-217)
介绍了一种柱面面形干涉测量方法。该方法选用计算全息片作为柱面波转换器，能够将平面干涉仪出射的平面波转换成理想柱面波前，依此为基础，建立了柱面干涉测量系统，能够实现柱面的干涉测量。为了获得柱面的真实面形误差，分析了调整...
关键词：计量学 柱面面形 干涉 柱面波转换器 计算全息片 调整误差 
平面子孔径拼接的面旋转误差被引量：1
《测试技术学报》2013年第3期266-272,共7页唐智 武欣 于瀛洁 
国家自然科学基金资助项目(51175318)
在按某一基准面进行拼接的过程中,存在着只与测量误差相关而与子孔径面形无关的误差,将其命名为面旋转误差.本文对比分析了顺序拼接和误差均化拼接中存在的面旋转误差的情况,讨论了面旋转误差对拼接的影响.给出了对抑制面旋转误差的基...
关键词：子孔径拼接 面旋转误差 误差抑制 顺序拼接 误差均化 
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