国家高技术研究发展计划(2005AA404230)

作品数:2被引量:5H指数:1
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MEMS压力传感器批量组装设备的研制
《传感技术学报》2006年第05B期1847-1851,共5页荣伟彬 陈立国 孙立宁 谢晖 
图家863计划项目资助(2005AA404230)
针对当前MEMS产业化推进过程中的小批量的发展现状,研究面向批量组装的MEMS微操作实用化系统具有重要实际价值.针对MEMS高温压力传感器产业化发展过程中的批量化键合工艺需求,从分析压力传感器键合工艺入手,研究批量组装关键技术,最后...
关键词:MEMS 批量组装 压力传感器 
挠性陀螺十字铰链模型的建立与分析被引量:5
《光学精密工程》2006年第5期864-869,共6页荣伟彬 陈涛 陈立国 孙立宁 
国家863MEMS重大专项(No.2005AA404230)
在对动力调谐陀螺刚度和漂移误差分析的基础上,建立了由内外挠性接头装配后铰链所形成的十字型铰链的模型,并利用伪刚度体理论对该模型进行了分析。得出了内外挠性接头两铰链的相对位置关系对十字型铰链模型的影响曲线。通过影响曲线的...
关键词:动力调谐陀螺 十字铰链模型 伪刚度体模型 
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