陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放基金(ZSKJ200702)

作品数：1被引量：9H指数：1
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薄膜光学常数的粒子群算法被引量：9
《计算物理》2008年第2期208-212,共5页王党社 张建科 徐均琪 
陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放基金(ZSKJ200702)资助项目
为解决椭偏法测量薄膜厚度和折射率实验数据处理较为复杂的问题,采用一种新的基于群体智能的优化算法——粒子群算法处理实验数据.以单层吸收薄膜的测量为例,利用该算法进行数据处理.实验结果表明,可以同时获得3个薄膜参数(折射率n,消...
关键词：粒子群算法 椭偏法 光学薄膜 
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