云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家自然科学基金(9027022)

国家自然科学基金(9027022): 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 相关作者：汪家友杨银堂吴振宇更多>>; 相关机构：西安电子科技大学更多>>; 相关期刊：《功能材料》更多>>; 相关主题：A-C:FXPS化学结构膜结构电学性能更多>>; 相关领域：理学更多>>

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氮气退火对氟化非晶碳膜结构和电学性能的影响被引量：1: 《功能材料》2006年第7期1081-1083,共3页吴振宇杨银堂汪家友; 国家自然科学基金资助项目(9027022);电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室资助项目(51433020205DZ01); 采用电子回旋共振等离子体化学气相淀积（ECR-CVD）方法以C4F8和CH4为源气体制备了氟化非晶碳（a-C：F）膜并在氮气气氛中对a-C：F膜进行了退火处理研究。X光电子能谱（XPS）化学结构分析表明，退火后a-C：F膜中CF3，CF2和CF含量减少，...; 关键词：A-C:F 退火化学结构电学性能 XPS

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