国家教育部博士点基金(20070056072)

作品数：3被引量：9H指数：1
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基于白光干涉无重叠拼接的微结构表征方法被引量：8
《光电子．激光》2010年第7期1048-1052,共5页郭彤 袁方 高顺民 马龙 傅星 胡小唐 
教育部高校博士点基金(新教师基金)资助项目(20070056072);科技部国防科技合作与交流资助项目(2008DFA71610);天津市自然科学基金资助项目(09JCYBJC05300)
针对白光干涉技术(WLI)应用于大范围测量时图像重叠拼接会引入误差并降低测量效率这一缺欠,本文基于纳米测量机(NMM)提出了一种无重叠拼接的白光干涉测试方法。利用NMM的高精度定位能力,扩展了普通白光干涉仪的测量范围,实现了对微结构...
关键词：微结构 白光干涉技术(WLI) 无重叠图像拼接 大范围 纳米测量机 
集成AFM测头的纳米测量机用于台阶高度的评价被引量：1
《计量学报》2008年第4期297-300,共4页郭彤 陈津平 傅星 T. Hausotte G. Jager 胡小唐 
国家863计划(2006AA04Z327);教育部博士点基金(新教师基金)(20070056072)
利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm×25 mm×5 mm。文中描述了NMM和AFM的工作原理,说明了NMM的高精度定位性能,系统利用NMM实现x、y方向的扫描,AFM测头只是作为零点传感...
关键词：计量学 纳米测量机 原子力显微镜 台阶高度标准 
MEMS显微干涉测量系统中相位提取算法的选择与分析
《纳米技术与精密工程》2008年第2期151-154,共4页郭彤 陈津平 傅星 胡小唐 
教育部高校博士点基金资助项目(20060056003);国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2006AA04Z302);教育部高校博士点基金新教师项目(20070056072)
描述了一种基于相移显微干涉术的MEMS测试方法,达到了纳米级分辨力.从理论上分析了4种常用相移算法对测量过程主要噪声(相移器的移相误差和探测器的非线性响应误差)的抑制作用,并选定了适合本系统的Hariharan算法.通过对经过美国国家标...
关键词：微机电系统 相位提取算法 误差分析 Hariharan算法 
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