国家自然科学基金(61204117)

作品数：9被引量：19H指数：3
导出分析报告
相关作者：吴森胡晓东宋云鹏傅星徐临燕更多>>
相关机构：天津大学北京特种机电技术研究所更多>>
相关期刊：《电子显微学报》《传感技术学报》《光学精密工程》《红外与激光工程》更多>>
相关主题：原子力显微镜微悬臂梁光杠杆AFMX轴更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术兵器科学与技术一般工业技术更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-9
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
改进型微悬臂梁弹性常数标定系统被引量：3
《传感技术学报》2018年第6期969-974,共6页耿新宇 宋云鹏 傅星 吴森 
国家自然科学基金项目(61204117)
微悬臂梁作为原子力显微镜中感受微观力的关键元件,其法向和横向弹性常数的可溯源测量是微观力准确定量的前提。受微电子加工工艺的限制,微悬臂梁形状参数与其法向弹性常数无法准确标定,其横向弹性常数更是缺少广泛认可的标定方法。在...
关键词：微悬臂梁 法向 横向 弹性常数 标定 
X轴分离式高速原子力显微镜系统设计被引量：6
《光学精密工程》2018年第3期662-671,共10页刘璐 吴森 胡晓东 庞海 胡小唐 
国家自然科学基金资助项目(No.61204117);国家重点研发计划资助项目(No.2017YFF0105905)
为了提高原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)的成像速度,本文提出了一种新的AFM结构设计方案并搭建了相应的实验系统。在该方案中,Y、Z扫描器集成于测头内驱动探针进行慢轴扫描和形貌反馈;X扫描器与测头分离,驱动样品做快轴扫描...
关键词：原子力显微镜 高速 快轴 扫描器 光杠杆 
一种适用于原位纳米力学测试的AFM测头被引量：1
《纳米技术与精密工程》2017年第2期93-99,共7页李艳宁 曾荟燕 吴森 刘璐 胡晓东 
国家自然科学基金青年基金资助项目(61204117);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2012AA041204)
设计并制作了一种适用于原位纳米力学测试的原子力显微镜(AFM)测头.测头由光学检测系统和Z向压电陶瓷微位移机构组成.其中光学检测系统采用光杠杆与显微镜同轴光路检测探针形变,压电位移机构内置电容传感器可实现探针进给量的闭环控制....
关键词：纳米力学 原子力显微镜 压电扫描器 光杠杆 电容传感器 
银纳米线与二氧化硅衬底表面摩擦力的测量
《电子显微学报》2016年第2期109-117,共9页吴森 张峻铭 刘鸿志 张锐 胡晓东 
国家自然科学基金资助项目(No.61204117);国家863计划项目(No.2012AA041204)
银纳米线是制作纳米光电子器件的理想材料,了解银纳米线与特定衬底间的摩擦特性对于器件的设计和制备工艺具有重要参考价值。本文利用原子力显微镜(AFM)研究银纳米线与二氧化硅衬底表面的摩擦特性,为提高摩擦力测量准确性,依次借助斜面...
关键词：原子力显微镜 银纳米线 摩擦 纳米操纵 标定 
基于扭转谐振模式3D-AFM的微结构侧壁形貌检测
《纳米技术与精密工程》2016年第1期1-7,共7页刘璐 徐建国 吴森 张锐 徐临燕 胡晓东 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2012AA041204);国家自然科学基金资助项目(61204117)
针对半导体器件微结构侧壁关键尺寸检测需求,设计了一套三维原子力显微镜(3D-AFM)系统.该系统采用针尖末梢为喇叭口形的悬臂梁探针,以扭转谐振模式实现横向轻敲扫描.介绍了该3D-AFM系统的结构组成和工作原理,对系统的横向检测灵敏度进...
关键词：关键尺寸 原子力显微镜 喇叭口针尖 扭转谐振 侧壁 
AFM微悬臂梁探针弹性常数各种标定方法的比较与分析被引量：5
《传感技术学报》2015年第8期1161-1168,共8页宋云鹏 吴森 傅星 徐临燕 
国家自然科学基金项目(61204117)
微悬臂梁探针是基于原子力显微镜(AFM)的微纳尺度力学测试中重要的力传感元件,其弹性常数的准确程度直接影响力学测量结果的可靠性。但是,目前已有的众多标定微悬臂梁探针弹性常数的方法都有各自的局限性,且准确性各异,因此需要对各种...
关键词：微悬臂梁 原子力显微镜 法向弹性常数 标定 
工业型扫描探针显微系统样品快速定位方法被引量：2
《纳米技术与精密工程》2015年第1期8-16,共9页胡晓东 万建峰 吴森 徐临燕 李凯凯 徐建国 卢念航 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2012AA041204);国家自然科学基金资助项目(61204117)
针对工业型扫描探针显微镜(SPM)在大尺寸晶圆样品检测中对扫描区域进行粗定位的需要,提出了一种基于数字图像处理的快速定位方法.该方法首先实现对样品表面的快速自动聚焦,之后利用图像匹配技术寻找样品表面的定位标记,最后通过坐标变...
关键词：工业型扫描探针显微镜 自动聚焦 图像匹配 定位方法 
具有溯源性的原子力显微镜探针法向弹性常数标定系统被引量：4
《纳米技术与精密工程》2014年第4期249-257,共9页宋云鹏 吴森 耿新宇 傅星 
国家自然科学基金资助项目(61204117)
原子力显微镜(AFM)悬臂梁探针的弹性常数在微纳米尺度力学测试中十分重要,其准确程度直接影响力学测量结果的可靠性,故需对其进行精确标定.因天平法的测量结果可溯源,本文在已有天平法的基础上,研制了一套新型标定系统.该系统将AFM测头...
关键词：悬臂梁 原子力显微镜 法向弹性常数 标定 
采用捷联激光探测器的制导火箭比例导引实现方法被引量：1
《红外与激光工程》2013年第12期3245-3248,共4页王磊 朱伯立 
国家自然科学基金(61204117)
围绕制式火箭弹精确制导改造的需求,提出了一种采用捷联激光探测器和比例导引的火箭弹制导控制方案。针对捷联探测器只能测量弹轴相对于目标的偏差角而无法提供比例导引所需的惯性视线角速度信号的难题,研究了基于捷联探测器测量的误差...
关键词：捷联激光探测器 制导火箭 制导控制系统 过载自动驾驶仪 比例导引 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部