徐临燕

作品数：18被引量：54H指数：5
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发文主题：原子力显微镜纳米AFM杨氏模量探针更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《机械科学与技术》《光电子．激光》《功能材料与器件学报》《传感技术学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划国际科技合作与交流专项项目更多>>
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基于原子力显微镜研究表面活性剂对带电荷的膜表面抗油性能的影响（英文）
《纳米技术与精密工程》2018年第1期9-15,共7页胡晓东 韩静 徐临燕 钱双贝 郭彤 吴森 刘亚楠 姜忠义 
supported by National Natural Science Foundation of China (Grant No.51305298,No.51675379);Tianjin Research Program of Application Foundation and Advanced Technology (Grant No.13JCQNJC04700)~~
通过在水中加入少量的表面活性剂,可以明显改变油滴表面的状态.油水分离膜的抗油性对过滤实验中的分离效率和薄膜使用寿命有着重要的影响.原子力显微镜(AFM)常用于探索界面的相互作用.本文用一个被油滴(正十六烷)修饰的探针作为力传感器...
关键词：抗油性 探针修饰 表面活性剂 黏附力 
基于扭转谐振模式3D-AFM的微结构侧壁形貌检测
《纳米技术与精密工程》2016年第1期1-7,共7页刘璐 徐建国 吴森 张锐 徐临燕 胡晓东 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2012AA041204);国家自然科学基金资助项目(61204117)
针对半导体器件微结构侧壁关键尺寸检测需求,设计了一套三维原子力显微镜(3D-AFM)系统.该系统采用针尖末梢为喇叭口形的悬臂梁探针,以扭转谐振模式实现横向轻敲扫描.介绍了该3D-AFM系统的结构组成和工作原理,对系统的横向检测灵敏度进...
关键词：关键尺寸 原子力显微镜 喇叭口针尖 扭转谐振 侧壁 
AFM微悬臂梁探针弹性常数各种标定方法的比较与分析被引量：5
《传感技术学报》2015年第8期1161-1168,共8页宋云鹏 吴森 傅星 徐临燕 
国家自然科学基金项目(61204117)
微悬臂梁探针是基于原子力显微镜(AFM)的微纳尺度力学测试中重要的力传感元件,其弹性常数的准确程度直接影响力学测量结果的可靠性。但是,目前已有的众多标定微悬臂梁探针弹性常数的方法都有各自的局限性,且准确性各异,因此需要对各种...
关键词：微悬臂梁 原子力显微镜 法向弹性常数 标定 
基于有限元的柔性铰链微位移机构研究被引量：2
《机械科学与技术》2015年第7期985-988,共4页刘庆纲 陈良泽 梁君 刘美欧 孙庚 徐临燕 
教育部博士点基金项目(20120032110059);天津市科技型中小企业技术创新资金项目(13ZXCXGX56800);天津市应用基础及前沿技术研究计划项目(13JCQNJC04700)资助
针对传统压电陶瓷器件应用于微位移技术中难以实现高精度的问题,提出了一种柔性铰链微位移机构,对该机构的运动特性进行了理论分析,并利用有限元方法进行了仿真验证。研究了铰链间距及其关键几何参数对微位移机构性能的影响。结果表明:...
关键词：微位移机构 柔性铰链 有限元法 位移放大比 
CD-AFM扫描图像的三维拼接方法被引量：1
《纳米技术与精密工程》2015年第3期219-225,共7页胡小唐 李凯凯 徐临燕 胡晓东 吴森 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2012AA041204);国家自然科学基金资助项目(61204117;51305298);天津市自然科学基金资助项目(13JCQNJC04700)
基于原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)的关键尺寸(critical dimension,CD)测量技术可有效测量MEMS结构的侧壁形貌和线宽,针对CD-AFM的关键共性技术之一提出了一种三维图像拼接方法,旨在把结构正表面图像和侧壁图像拼接成为一...
关键词：关键尺寸 原子力显微镜 侧壁形貌 三维图像拼接 
工业型扫描探针显微系统样品快速定位方法被引量：2
《纳米技术与精密工程》2015年第1期8-16,共9页胡晓东 万建峰 吴森 徐临燕 李凯凯 徐建国 卢念航 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2012AA041204);国家自然科学基金资助项目(61204117)
针对工业型扫描探针显微镜(SPM)在大尺寸晶圆样品检测中对扫描区域进行粗定位的需要,提出了一种基于数字图像处理的快速定位方法.该方法首先实现对样品表面的快速自动聚焦,之后利用图像匹配技术寻找样品表面的定位标记,最后通过坐标变...
关键词：工业型扫描探针显微镜 自动聚焦 图像匹配 定位方法 
基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征被引量：8
《纳米技术与精密工程》2011年第1期39-43,共5页马龙 郭彤 赵健 徐临燕 陈津平 傅星 胡小唐 
国家自然科学基金资助项目(91023022);科技部国际科技合作与交流资助项目(2008DFA71610);天津市自然科学基金资助项目(09JCYBJC05300)
将Carré等步长相移法与白光垂直扫描相结合形成了一种白光等步长相移算法,该方法快速、准确、非接触,垂直分辨力可达亚纳米级.测量系统集成了Mirau显微干涉物镜,并通过高精度压电陶瓷纳米定位器带动物镜进行垂直扫描.分析了Carré法应...
关键词：微机电系统(MEMS) 白光相移干涉 Carré相移算法 标准台阶 
计量型AFM力曲线功能的开发及其在纳米振动测量中的应用
《纳米技术与精密工程》2010年第5期401-405,共5页栗大超 邱晗 徐临燕 傅星 胡小唐 
国家自然科学基金资助项目(30800239);教育部博士点基金资助项目(20070056075);天津市应用基础与前沿技术研究计划资助项目(07JCYBJC04900);高等学校学科创新引智计划资助项目(B07014)
提出了一种在计量型原子力显微镜(AFM)上开发力曲线功能模块的方法.通过在计量型原子力显微镜上增加可调三角波发生器、信号切换和缓冲电压保护电路,对计量型原子力显微镜的内部驱动信号和外加驱动信号进行了平滑切换,避免了原子力显微...
关键词：计量型原子力显微镜 力曲线 纳米梁谐振器 振动测量 显微激光多普勒 
基于轻敲模式AFM的纳米振动表征方法
《压电与声光》2010年第4期677-681,共5页徐临燕 栗大超 刘瑞鹏 邱晗 傅星 胡小唐 张文栋 
科技部国际科技合作与交流专项基金资助项目(2008DFA71610);国家自然科学重点基金资助项目(50535030)
针对纳米振动测量方法中存在的间接性、低分辨率、低带宽等局限性,建立了原子力显微镜(AFM)的轻敲模式下探针与振动样品间相互作用的振动系统模型,采用Runge-Kutta数值积分方法分析了AFM测振技术的可行性和工作带宽。使用静电激励的双...
关键词：纳机电系统 纳米梁谐振器 离面振动 原子力显微镜(AFM) 轻敲模式 
基于弯曲测试技术的纳米梁厚度的精密测量被引量：1
《纳米技术与精密工程》2010年第1期7-11,共5页徐临燕 栗大超 刘瑞鹏 傅星 胡小唐 张文栋 
科技部国际科技合作与交流专项资助项目(2008DFA71610);国家自然科学基金重点资助项目(50535030)
针对广泛应用的扫描电镜和台阶仪在测量纳米厚度时存在的破坏性和近似性等局限性,提出了一种基于弯曲测试技术实现纳米梁厚度精密测量的方法.该方法的核心思想是悬浮结构在载荷的作用下产生初始弯曲直至其下表面与衬底接触的过程中形成...
关键词：纳米梁 厚度 原子力显微镜 纳米压痕 弯曲测试 
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