轻敲模式

作品数：50被引量：177H指数：6
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AFM轻敲模式对Si基SiO_(2)薄膜粗糙度的研究
《内蒙古民族大学学报（自然科学版）》2022年第1期19-25,共7页贾娟 姜爱峰 丁慧 李继军 杨诗婷 郎风超 
国家自然科学基金项目(11562016,12002174);内蒙古自治区自然科学基金项目(2021MS01019,2018MS01013);内蒙古自治区高等学校科研项目(NJZY22383);内蒙古工业大学科研项目(ZY201818);内蒙古工业大学大学生创新实验计划(2020093006)。
SiO_(2)薄膜作为集成电路绝缘层、光学薄膜器件以及微机电系统薄膜的重要组成部分,在器件制造中起着重要的作用。为了分析Si基SiO_(2)薄膜的粗糙度,利用原子力显微镜对Si基SiO_(2)薄膜表面进行测试,将得到的表面形貌首先进行平均滤波和...
关键词：AFM 轻敲模式 SiO_(2)薄膜 粗糙度 
激励频率对TM-AFM相位成像的影响被引量：2
《电子显微学报》2021年第6期665-670,共6页魏瑞华 彭安杰 宾凤姣 魏征 
国家自然科学基金资助项目(No.NSFC 11572031)。
相位成像是轻敲模式下原子力显微镜(tapping mode atomic force microscope,TM-AFM)最具有特色的成像方式。本文以获得高质量的相位像为主要研究目的,利用Euler-Bernoulli(欧拉-伯努利)梁方程,将系统动力学模型简化为基于支承运动的弹...
关键词：原子力显微镜 轻敲模式 激励频率 相位成像 相位对比度 
AFM峰值力轻敲模式下石墨烯与迈科烯结构稳定性的比较被引量：1
《材料导报》2021年第22期22006-22010,共5页陈立杭 张绫芷 沈彩 刘兆平 
浙江省自然科学基金-台州联合基金(LTY20B030001)。
本工作通过原位原子力显微镜Peak force tapping模式对石墨烯和迈科烯(MXene)的结构稳定性进行了比较。当原位观察二维材料还原氧化石墨烯(rGO)时,rGO形貌基本不随时间发生改变;而当原位观察二维材料迈科烯V_(2)C时,V_(2)C表面发生纳米...
关键词：二维材料 原子力显微镜 Peak force tapping模式 纳米刻蚀 稳定性 
轻敲模式下AFM动力学模型及能量耗散机理研究被引量：7
《力学学报》2020年第4期1106-1119,共14页魏征 郑骁挺 刘晶 魏瑞华 
国家自然科学基金资助项目(11572031)。
轻敲模式下探针从远离到间歇性接触样品表面,是一个连续的能量耗散过程.针对该连续过程的能量耗散机理研究仅零星存在于各个文献之中,对于连续过程中各个阶段的能量耗散机理也没有一个系统的解释和实验验证.本文提出了新的位移激励下原...
关键词：原子力显微镜 动力学模型 能量耗散 空气阻尼 压膜阻尼 
AFM轻敲模式下扫描参数对成像质量影响的研究被引量：1
《计量学报》2020年第7期789-795,共7页陈建超 安小广 冯世绪 王加春 
河北省自然科学基金(E2018203440/E2018203403);河北省高等学校自然科学研究青年基金(QN2016004);中央高校基本科研业务费专项资金(30917014101);燕山大学青年教师自主研究计划(15LGB001)。
针对原子力显微镜(AFM)扫描参数对成像质量的影响规律,对现有的扫描参数影响成像质量的研究进行了分析。提出了以幅值误差作为评价AFM成像质量的指标,通过实验研究了扫描参数对AFM成像质量的耦合影响。发现了扫描频率f s、积分增益I和...
关键词：计量学 原子力显微镜 扫描参数 成像质量 轻敲模式 幅值误差 
压膜阻尼对原子力显微镜振动特性的影响研究被引量：4
《振动与冲击》2020年第11期177-183,共7页柳世华 魏征 孙岩 刘运鸿 
国家自然科学基金资助项目(NSFC11572031)。
原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)在轻敲模式下工作时,随着探针针尖与样品距离的逐渐减小,空气压膜阻尼的作用随之增大。为研究压膜阻尼对原子力显微镜振动系统的影响,分别使用无针尖探针和微球针尖探针进行扫频实验,并基于...
关键词：轻敲模式原子力显微镜 振动刚度 压膜阻尼 一维振子 
轻敲模式原子力显微镜相位、频移特性研究被引量：3
《机械设计与制造工程》2020年第2期97-100,共4页刘运鸿 郑骁挺 魏征 
国家自然科学基金资助项目(NSFC11572031)。
原子力显微镜在轻敲模式下工作时,相位像相比于高度像能提供更多的样品信息,因此如何提供高分辨率的相位像成为理论和实验研究的重要内容。原子力显微镜其核心部件为微悬臂梁系统,在轻敲模式下将其简化为质量-弹簧-阻尼振动模型。采用...
关键词：原子力显微镜 轻敲模式 相位 激振频率 
非共振轻敲模式原子力显微镜的研究被引量：4
《仪器仪表学报》2020年第2期70-77,共8页闫孝姮 孔繁会 邵永健 李鹏 
国家自然科学基金(61604048,61327813)项目资助.
原子力显微镜(AFM)是在微纳尺度观测以及操纵样品的重要工具。与传统的接触模式和轻敲模式AFM相比,非共振轻敲模式AFM因为其控制力精度高并可同步获取多种机械特性等优势得到了广泛的应用。采用基于背景相减和同步算法相结合的方法搭建...
关键词：原子力显微镜 非共振轻敲 纳米表征 背景相减算法 
煤岩的纳微力学特性研究:以Pocahontas煤岩为例被引量：1
《煤炭科学技术》2020年第2期220-229,共10页唐旭 
欧盟“地平线-2020”研究与创新框架“玛丽·居里学者计划”个人资助项目(793128)
煤岩的力学特性是煤炭开采设计及安全开发过程中要考虑的重要因素。尽管目前对煤岩的宏观力学性质已经有深入的研究,但是对煤岩纳微尺度力学性能测试及相应的力学参数测试却少有涉及。笔者采用原子力显微镜峰值力轻敲模式(AFM PeakForce...
关键词：煤岩 力学特性 原子力显微镜 峰值力轻敲模式 
原子力显微镜工作原理演示仪被引量：2
《物理实验》2019年第12期31-34,39,共5页苏峻 胡建桥 
南京林业大学自制实验教学仪器项目(No.nlzzyq201819)
设计了AFM工作原理演示仪,利用反光弹片模拟AFM的微悬臂,利用振动电机激发弹片振动模拟AFM轻敲模式下的微悬臂振动,利用半导体激光器、反射镜、弹片、光屏等组成的结构模拟AFM的光电检测系统,利用二维电机移动平台模拟AFM压电扫描管的...
关键词：原子力显微镜 微悬臂 接触模式 轻敲模式 成像 
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