纳米刻蚀

作品数：23被引量：30H指数：3
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AFM峰值力轻敲模式下石墨烯与迈科烯结构稳定性的比较被引量：1
《材料导报》2021年第22期22006-22010,共5页陈立杭 张绫芷 沈彩 刘兆平 
浙江省自然科学基金-台州联合基金(LTY20B030001)。
本工作通过原位原子力显微镜Peak force tapping模式对石墨烯和迈科烯(MXene)的结构稳定性进行了比较。当原位观察二维材料还原氧化石墨烯(rGO)时,rGO形貌基本不随时间发生改变;而当原位观察二维材料迈科烯V_(2)C时,V_(2)C表面发生纳米...
关键词：二维材料 原子力显微镜 Peak force tapping模式 纳米刻蚀 稳定性 
室温纳米压印制备多尺度金碗-金豆纳米天线阵列
《微纳电子技术》2017年第3期173-180,共8页朱振东 施玉书 李伟 高思田 白本锋 张立辉 李群庆 范守善 
国家质量基础的共性技术研究与应用资助项目(2016YFF0200602);国家纳米科技重点研发计划资助项目(2016YFA0200901)
金属纳米结构表现出独特的光电效应,在表面等离激元器件、超分辨光学成像、全光集成等领域有广泛应用。针对一种有实际需求的金碗-金豆(PIC)高分辨纳米腔的研制,提出了基于室温纳米压印技术,结合多参数各向异性刻蚀技术,研究并解决金碗...
关键词：多尺度纳米刻蚀 金碗-金豆(PIC) 室温纳米压印 双层抗刻蚀剂 微相分离 
室温纳米压印制备中的共性关键工艺问题被引量：1
《微纳电子技术》2017年第1期43-47,70,共6页朱振东 施玉书 李伟 高思田 李适 李琪 张立辉 李群庆 范守善 
国家质量基础的共性技术研究与应用资助项目(2016YFF0200602);国家纳米科技重点研发计划资助项目(2016YFA0200901)
纳米压印光刻技术具有低成本、高效率、大面积、高分辨、多尺度、良好的工艺兼容性等特点,可用于亚波长光电子器件的研究。提出了硅水合物(HSQ)/聚丙烯酸甲酯(PMMA)双层胶室温纳米压印工艺方法,研究并解决了有关压印光刻胶剩余底膜和纳...
关键词：室温纳米压印 光刻胶剩余 图形转移技术 纳米刻蚀 亚波长光栅 
纳米刻蚀法合成磁性介孔碳及水处理性能研究被引量：1
《中国陶瓷》2016年第5期24-26,共3页董艳萍 田喜强 乔秀丽 马松艳 白晓波 
绥化市科技计划项目(KJZD20120075);黑龙江省普通本科高等学校青年创新人才培养计划(UNPYSCT-2015113)
以SBA-15为模板,氯化铁为铁源,采用化学气相沉积法引入碳源,通过纳米刻蚀法合成磁性介孔碳材料。且研究了磁性介孔碳样品对罗丹明B的吸附和磁性分离性能,结果表明外加磁场可有效的分离罗丹明B。
关键词：纳米刻蚀 磁性分离 磁性介孔碳 
Fe_3O_4/介孔碳复合体的合成及其处理罗丹明B废水的应用
《应用化工》2012年第10期1710-1712,共3页董艳萍 田喜强 马松艳 乔秀丽 白晓波 
黑龙江省教育厅科学技术研究项目(12521654)
以介孔SBA-15为硬模板,利用硝酸铁和蔗糖一步浸渍的方法,通过纳米刻蚀合成了Fe3O4与介孔碳纳米粒子复合体(Fe3O4/介孔碳复合体),对复合体进行吸附有机染料罗丹明B的磁性分离研究,实验表明,Fe3O4/介孔碳复合体有较好的吸附分离性能。
关键词：纳米粒子 吸附分离 纳米刻蚀 
纳米刻蚀术产生任意图案
《激光与光电子学进展》2009年第4期9-9,共1页
美国普林斯顿大学的研究人员研制出了一种直接将纳米图案刻蚀在衬底上的并行工艺。他们用一台激光器来捕获微透镜阵列，用另一台激光器以均匀尺寸和15nm的相对定位精度来制造100nm的结构。该方法能制造任意的纳米图案。
关键词：纳米图案 纳米刻蚀 普林斯顿大学 微透镜阵列 并行工艺 研究人员 定位精度 激光器 
偏压值对纳米刻蚀影响的研究
《纺织高校基础科学学报》2007年第4期408-411,共4页周光茜 张英堂 任永强 
STM的刻蚀机理是通过隧道电流引发局域化学反应,以达到刻蚀的目的.在刻蚀过程中,偏压值对针尖状态的影响相当大.本文以STM为手段,研究偏压值对高序石墨表面纳米刻蚀及针尖状态的影响.通过一系列改变偏压值的纳米刻蚀试验,结果表明,在偏...
关键词：STM 纳米刻蚀 偏压值 高序石墨 
扫描探针加工和自组装技术相结合的研究进展——表面图形可控的功能纳米结构的制备被引量：2
《武汉工程大学学报》2007年第4期1-4,共4页刘善堂 
湖北省楚天学者特聘教授计划的资助.
随着扫描指针和分子组装技术的快速发展,人们不仅可以在固体表面构建纳米尺度的结构,而且也可以使表面的纳米结构进一步功能化,并且还能够更进一步制备出精确控制的复合功能材料及理想的原型器件.本文在简单介绍扫描探针加工技术和分子...
关键词：扫描探针显微镜 纳米加工 自组装膜 纳米刻蚀 纳米结构 自组装技术 
外加电压对AFM阳极氧化加工的作用机理
《仪表技术与传感器》2007年第3期13-15,共3页蒋洪奎 胡礼广 朱春耕 沈亚强 
浙江省教育厅项目(20060470)资助
利用原子力显微镜AFM进行阳极氧化纳米刻蚀加工的实质是电场作用下发生的电化学反应,外加电压是影响氧化加工的最重要的因素。在氧化加工过程中,外加电压存在着阈值。分析了电压的大小、类型对氧化物的结构和生长速率产生的具体影响,偏...
关键词：原子力显微镜 阳极氧化 纳米刻蚀 电压 
探针对AFM阳极氧化加工的影响研究
《航空精密制造技术》2007年第1期34-36,共3页蒋洪奎 朱春耕 胡礼广 
利用原子力显微镜AFM进行阳极氧化纳米刻蚀加工的实质是电场作用下发生下的电化学反应,探针是影响氧化加工重要的因素。在氧化加工过程中,探针曲率半径的大小和与样品表面的相对位置影响了表面电场的分布,从而影响了氧化物的结构。由于...
关键词：原子力显微镜 阳极氧化 纳米刻蚀 探针 
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