纳机电系统

作品数:52被引量:131H指数:7
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相关领域:电子电信一般工业技术更多>>
相关作者:周兆英于虹于普良胡小唐徐临燕更多>>
相关机构:东南大学清华大学中国科学院中北大学更多>>
相关期刊:《影像科学与光化学》《自动化博览》《传感技术学报》《中国机械工程》更多>>
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基于悬浮式H型石墨烯的纳机电加速度计设计
《测试技术学报》2025年第2期138-147,共10页谷妍霞 刘文耀 李伟 杨泽宇 田昊源 唐军 刘俊 
国家重点研发计划资助项目(2022YFB3203400);国家自然科学基金资助项目(U21A20141,62273314,51821003)。
石墨烯因超薄的薄膜厚度和优异的电学、机械性能成为纳机电系统领域膜材料的理想选择,在传感领域有极大的应用潜力。现有的二维材料纳机电加速度传感器尽管表现出小体积优势,但器件灵敏度亟需提升。提出了基于悬浮式H型石墨烯-质量块的...
关键词:悬浮石墨烯 力学特性 有限元法 高灵敏加速度计 纳机电系统 
《太赫兹科学与电子信息学报》2025年第12期专栏征稿 主题:智能微纳感知与微系统集成
《太赫兹科学与电子信息学报》2025年第2期I0011-I0011,共1页
作为物联网与人工智能领域的核心技术,感知传感与微纳系统集成是推动上述领域微型化、智能化、高度集成化的关键。以微纳机电系统(MEMS/NEMS)为代表的微电子学、集成电路等学科方向的深入发展,为上述技术的创新提供了重要支撑。但该领...
关键词:人工智能 物联网 系统集成 高度集成化 太赫兹 微纳机电系统 微电子学 集成电路 
微纳米分子系统研究领域的最新进展——IEEE NEMS 2021国际会议综述
《太赫兹科学与电子信息学报》2021年第4期747-752,共6页黄锴 龚雪 文丹良 张晓升 
国家自然科学基金资助项目(62074029,61804023,61971108);四川省科技资助项目(2020ZHCG0038,2019YJ0198,2020YJ0015);中央高校基本科研业务费资助项目(ZYGX2019Z002)
2021年4月25~29日,由厦门大学、北京大学、电子科技大学联合举办的第十六届IEEE国际纳米/微米工程及分子系统大会(IEEE-NEMS2021)于福建厦门顺利召开,共有来自全球各地的500多名微纳米科技领域专家学者与会分享最新研究成果。本文从纳...
关键词:IEEE国际纳米/微米工程及分子系统大会 纳米材料 纳米技术 微纳机电系统 
非晶合金微力传感器
《传感器与微系统》2021年第5期67-70,共4页张凯翔 马明哲 刘泽 
国家自然科学基金资助项目(11872284);武汉市科学技术局资助项目(2019010701011390)。
非晶合金具有高强度、高弹性极限等优异的力学性质以及独特的可热塑性成形特性。基于设计的双悬臂探针,制备了一种非晶合金微力传感器。利用所制备的微力传感器,在显微镜下可方便地实现微纳米尺寸试样或部件侧弯作用下的载荷-位移曲线...
关键词:微力传感器 非晶合金 微纳机电系统 微成型 
基于专利分析的NEMS传感器技术发展现状与趋势被引量:1
《科技促进发展》2019年第8期777-781,共5页马梅彦 
以orbit专利数据库收录的1997~2017年期间NEMS传感器技术专利分布为研究对象,通过对其年度分布、国家分布、竞争机构分布及技术领域分布等方面的分析,全面揭示NEMS传感器技术的发展现状及趋势,为我国政府、科研机构、行业协会及企业制...
关键词:NEMS 纳机电系统 传感器 专利分析 
石墨烯纳机电系统及其与光纤的集成研究被引量:4
《激光与光电子学进展》2019年第11期38-45,共8页刘增勇 曹鸿谦 徐飞 陆延青 
科技部国家重点研发计划课题(2017YFC1403800);国家自然科学基金重点项目(61535005)
石墨烯具有比表面积大、弹性模量大、刚度大和密度低等特性,是极佳的纳机电系统(NEMS)基础材料。石墨烯纳机电系统主要研究石墨烯薄膜的机电性能,其共振频率对质量、力和热具有非常灵敏的响应,在传感领域具有广泛的应用前景。光纤传感...
关键词:光纤光学 石墨烯 纳机电系统 光纤 传感 
NEMS外场驱动微电机研究进展
《微特电机》2019年第3期77-81,共5页曹富林 许立忠 
按照外场驱动微电机的驱动机制进行分类,简要介绍了各类微电机的制造工艺及应用前景,综述了各类微电机的研究与应用现状。指出了当前外场驱动微电机领域的研究热点,分析了微电机在实际应用中存在的困难。展望了外场驱动微电机未来的发...
关键词:微纳米电机 纳机电系统 外场驱动 微电机 发展趋势 应用前景 
探析石墨烯纳机电系统及其与光纤的集成的研究进展
《中文科技期刊数据库(全文版)自然科学》2019年第2期00017-00018,共2页李良贺 
石墨烯由于其比表面积大、超薄、杨氏模量大、刚度大、密度低等特性;成为极佳的纳机电系统基础材料。石墨烯纳机电系统主要研究石墨烯薄膜的机电性能;其共振频率对质量、力和热有非常灵敏的响应;在传感领域具有很广泛的应用前景。而光...
关键词:石墨烯 纳机电系统 光纤 传感 
纳米剪纸三维智能微纳制造
《科技成果管理与研究》2019年第1期6-6,共1页
剪纸作为中国古老的传统艺术之一,已有上千年的历史,被广泛应用在各类窗花、贺卡、仪式和节日所用的装饰中。近年来,剪纸和折纸技术在科学界得到了广泛的重视,包括太空飞行器的太阳能帆板折叠技术,微纳机电系统(MEMS/NEMS),乃至DNA纳米...
关键词:纳米尺度 智能制造 剪纸 三维 折叠技术 太阳能帆板 太空飞行器 纳机电系统 
声波激励的超小型纳机电系统磁电天线被引量:8
《通信对抗》2017年第4期51-58,共8页Tianxiang Nan Hwaider Lin Yuan Gao Alexei Matyushov Guoliang Yu Huaihao Chen Neville Sun Shengjun Wei Zhiguang Wang Menghui Li Xinjun Wang Amine Belkessam Rongdi Guo Brian Chen James Zhou Zhenyun Qian Yu Hui Matteo Rinaldi Michael E.McConney BrANDon M.Howe Zhongqiang Hu John G.Jones Gail J.Brown Nian Xiang Sun 张建强(翻译) 陈鼎鼎(审校) 
当前的小型天线依赖于电磁波的谐振,因此天线的尺寸与电磁波波长相关。典型的天线尺寸大于波长的1/10,而进一步缩小天线尺寸在近十年来都是一个公开的挑战。介绍一种通过悬浮铁氧/压电薄膜异质结构的声波激励纳机械磁电天线。这种磁电...
关键词:纳米板 薄膜体声波谐振器 纳机电系统 
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