沈阳市自然科学基金(1033064-1-03)

作品数：4被引量：1H指数：1
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摆式抛光机的运动摩擦学分析被引量：1
《现代制造工程》2009年第1期77-80,共4页王武刚 吕玉山 
沈阳市自然科学基金资助项目(1033064-1-03)
为了得到抛光机运动参量对被抛光硅片平面度的影响规律,利用坐标变换理论建立摆式抛光运动方程,基于运动方程和抛光材料去除的Preston模型,利用蒙特卡罗法分别对磨料轨迹、硅片表面的抛光相对摩擦长度等进行模拟,得到摆幅、摆臂初始角...
关键词：化学机械抛光 抛光运动 摩擦长度 材料去除率 
动压悬浮流延的动力学特性
《沈阳理工大学学报》2007年第3期43-46,56,共5页饶宇 吕玉山 孙建章 张辽远 
沈阳市自然科学基金资助(1033064-1-03)
将硬磁盘存储系统中磁头相对磁盘的动压悬浮运动原理运用于电子陶瓷薄膜流延,满足了电子陶瓷薄膜的高精密与超薄化的发展要求.根据流延头与流延辊子的结构和工作原理建立了系统的物理模型和动力学方程式,依据该模型和方程式,利用MATLAB...
关键词：电子陶瓷薄膜 流延 动压悬浮 动态特性 
电子陶瓷薄膜动压悬浮流延的动力学特性分析
《电子工业专用设备》2006年第10期65-69,共5页饶宇 吕玉山 孙建章 张辽远 
沈阳市自然科学基金资助(1033064-1-03)
为了解决电子陶瓷薄膜的高精密与超薄化流延问题将硬磁盘存储系统中磁头相对磁盘的动压悬浮运动理论运用于电子陶瓷流延过程中,建立了动压悬浮流延法,并给出了流延头相对流延辊子的动静态物理模型.根据该模型所确立的动力学方程式,对其...
关键词：电子陶瓷薄膜 流延 动压悬浮 动态特性 
电子陶瓷薄膜动压悬浮流延的动压场分析
《沈阳理工大学学报》2006年第2期62-65,共4页武海霞 吕玉山 孙建章 
沈阳市自然科学基金资助(1033064-1-03)
基于硬磁盘存储系统中磁头相对磁盘的动压悬浮理论的电子陶瓷薄膜流延法是陶瓷薄膜流延领域的一种新技术之一.利用该技术可以在不提高流延系统几何运动精度的情况下流延出超精密和超薄的电子陶瓷薄膜.本文基于流体Reynolds方程建立了流...
关键词：动压悬浮流延 流延机 压强分布 
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