国家自然科学基金(61171038)

作品数：2被引量：5H指数：1
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LDMOS器件软失效分析及优化设计被引量：1
《固体电子学研究与进展》2014年第6期580-584,共5页黄龙 梁海莲 毕秀文 顾晓峰 曹华锋 董树荣 
国家自然科学基金资助项目(61171038,61150110485);中央高校基本科研业务费专项资金(JUSRP51323B,JUDCF13032);江苏省科技厅产学研联合创新资金前瞻性联合研究项目(BY2013015-19);江苏省普通高校研究生创新计划(CXLX13-747,KYLX-1119)
横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件在高压静电放电(ESD)防护过程中易因软失效而降低ESD鲁棒性。基于0.25μm Bipolar-CMOS-DMOS工艺分析了LDMOS器件发生软失效的物理机理,并提出了增强ESD鲁棒性的版图优化方法。首先制备了含N型轻掺...
关键词：横向扩散金属氧化物半导体 静电放电 软失效 体穿通 传输线脉冲测试 
基于ZnO/Si结构的声表面波器件设计研究被引量：4
《压电与声光》2013年第1期1-3,9,共4页何兴理 周剑 金浩 董树荣 王德苗 
国家自然科学重点基金资助项目(60936002);国家自然科学基金资助项目(61171038)
微机电系统(MEMS)工艺已被广泛用于制造各种硅基薄膜器件。声表面波(SAW)器件是性能优良的MEMS器件。该文利用多物理耦合场软件COMSOL Multiphysics仿真了氧化锌/硅(ZnO/Si)结构SAW谐振器,并得到其S11参数。对应于仿真,该文制造了该种...
关键词：微机电系统(MEMS) 声表面波 COMSOL 氧化锌 硅 
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