国家自然科学基金(60906052)

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周期性和孤立的纳米结构的超透镜亚波长成像(英文)
《强激光与粒子束》2015年第2期165-169,共5页张手强 郭小伟 
supported by National Natural Science Foundation of China(60906052);Fundamental Research Funds for the Central Universities of China(2672012ZYGX2012J065)
超透镜光刻技术是一种很有前景的纳米结构成像技术,由于其具有可以克服衍射极限的能力,直到2005年,张翔和他的同事在365nm紫外线波长下成功的对一排纳米线和刻在高分子膜上的四个字母"NANO"实现了超分辨成像,分辨率高达1/6入射波长。通...
关键词：超透镜光刻 亚波长成像 周期性结构 孤立结构 
表面等离子体无掩膜干涉光刻系统的数值分析(英文)被引量：5
《光子学报》2012年第5期558-564,共7页董启明 郭小伟 
The National Natural Science Foundation of China(No.60906052)
表面等离子体激元具有近场增强效应,可以代替光子作为曝光源形成纳米级特征尺寸的图像.本文数值分析了棱镜辅助表面等离子体干涉系统的参量空间,并给出了计算原理和方法.结果表明,适当地选择高折射率棱镜、低银层厚度、入射波长和光刻...
关键词：干涉光刻 表面等离子体激元 克莱舒曼结构 
基于长周期波导光栅的宽范围电光调谐滤波器被引量：1
《科学通报》2009年第21期3265-3269,共5页郭小伟 张晓霞 李和平 刘永 刘永智 
国家自然科学基金(批准号:60736038和60906052);国家高技术研究发展计划(批准号:2007AA01Z269和2009AA03Z413)资助项目
设计了一种基于长周期波导光栅的电光调谐滤波器,它具有偏振无关性.理论分析表明,调谐电压在?84～84V之间,波长调谐范围从1530～1565nm,覆盖了整个C波段;在整个调谐范围内,准TE模的耦合效率都在97%以上,3dB带宽小于0.8nm,波长对电压敏...
关键词：光学滤波器 长周期波导光栅 电光调谐 偏振无关 
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