河北省教育厅科研基金(2002204)

作品数：2被引量：13H指数：1
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相关作者：张瑞军田占军岳学庆更多>>
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相关主题：氮含量纳米力学性能掺氮类金刚石薄膜类金刚石薄膜退火温度更多>>
相关领域：金属学及工艺机械工程理学一般工业技术更多>>
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退火温度对碳氮薄膜的纳米力学和纳米摩擦性能的影响
《中国材料科技与设备》2006年第2期85-87,共3页张瑞军 田占军 岳学庆 
河北省教育厅科研计划资助项目（2002204）;燕山大学博士基金资助项目（B65）
采用微波电子回旋共振化学气相沉积技术制备了氮含量不同的碳氮薄膜，采用真空退火技术对碳氮薄膜进行了退火处理，并且利用Laser Raman谱仪和Hysitron纳米力学测试系统对碳氮薄膜的结构、纳米力学以及纳米摩擦特性进行了研究。结果表...
关键词：碳氮薄膜 氮含量 退火 纳米力学性能 纳米摩擦特性 
掺氮类金刚石薄膜的纳米力学及纳米摩擦特性研究被引量：13
《摩擦学学报》2005年第6期530-534,共5页张瑞军 马洪涛 
河北省教育厅科研计划资助项目(2002204);燕山大学博士基金资助项目(2001B35)
利用微波电子回旋共振化学气相沉积技术制备了不同氮掺杂量的类金刚石(DLC)薄膜,采用俄歇电子能谱仪、R am an光谱仪和Hys itron型纳米力学测试系统对掺氮类金刚石薄膜的化学成分和结构、纳米力学及其纳米摩擦特性进行研究.结果表明:反...
关键词：类金刚石薄膜 氮含量 纳米力学性能 纳米摩擦特性 
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