国家自然科学基金(61335004)

作品数:11被引量:7H指数:1
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相关机构:北京邮电大学北京工业大学更多>>
相关期刊:《Journal of Semiconductors》《半导体光电》《Chinese Physics B》《Chinese Optics Letters》更多>>
相关主题:垂直腔面发射激光器高速调制垂直面BCB苯并环丁烯更多>>
相关领域:电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>
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采用BCB平整技术的高速850nm垂直面发射激光器(英文)被引量:5
《中国光学》2018年第2期190-197,共8页何晓颖 董建 胡帅 何艳 吕本顺 栾信信 李冲 胡安琪 胡宗海 郭霞 
国家自然科学基金资助项目(No.61335004,No.61675046,No.61505003);国家重大研发计划(No.2016YFB0400603,No.2017YFB0400902,No.2017YFF0104801)
垂直腔面发射激光器因其具有低阈值、低功耗、可实现高速调制等优势,广泛地应用于光通信和光互连等领域。寄生电容是影响激光器的调制带宽的主要因素之一。本文通过采用低k值的苯并环丁烯(BCB)平整技术有效地降低了垂直腔面发射激光器...
关键词:垂直腔面发射激光器 高速调制 苯并环丁烯平整技术 
湿法腐蚀和干法刻蚀工艺对850nm VCSEL高速调制性能的影响
《半导体光电》2017年第6期826-829,共4页董建 何晓颖 胡帅 何艳 吕本顺 李冲 郭霞 
国家自然科学基金项目(61335004);国家"863"计划项目(2015AA017101)
垂直腔面发射激光器(VCSEL)以其低功耗、低阈值电流、高调制速率和易制作二维阵列器件等特点,广泛应用于短距离光互连领域。湿法腐蚀和干法刻蚀作为高速VCSEL台面结构制备的两种工艺,影响VCSEL氧化层的大小。文章研究了氧化层面积对寄...
关键词:垂直腔面发射激光器 高速调制 湿法腐蚀 干法刻蚀 
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