国家自然科学基金(51005061)

作品数：1被引量：3H指数：1
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立式靶丸AFM表面轮廓仪系统精度测试被引量：3
《原子能科学技术》2012年第8期1014-1018,共5页赵学森 高党忠 马小军 孟婕 唐永建 张林 孙涛 
国家自然科学基金资助项目(51005061);教育部新教师博士点基金资助项目(20092302120006)
研制了立式轴系结构靶丸AFM表面轮廓仪,对测量装置的精度进行了系统的测试。针对影响测量结果的不确定性因素,分别从气浮轴系回转误差、系统静态噪声误差以及综合测量误差几个角度开展实验研究。采用标准球及两步回转误差分离法获取了...
关键词：ICF靶丸 AFM 表面轮廓仪 立式轴系结构 测量精度 
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