国家自然科学基金(10602033)

作品数:7被引量:31H指数:3
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相关作者:孟光张文明周健斌陈迪陈杰宇更多>>
相关机构:上海交通大学更多>>
相关期刊:《机械工程学报》《振动与冲击》《机械强度》《力学学报》更多>>
相关主题:微机电系统气体轴承径向气体轴承静电驱动MEMS更多>>
相关领域:机械工程自动化与计算机技术化学工程更多>>
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参数激励下静电驱动MEMS共振传感器的非线性动力特性研究被引量:8
《力学季刊》2009年第1期44-48,共5页张文明 孟光 周健斌 陈杰宇 
国家自然科学基金项目(10602033和10325209);中国博士后基金项目(20060400165).
静电驱动微机电系统(MEMS)共振传感器因其结构简单、应用广泛等优点引起了研究人员广泛的关注,共振传感器件耦合系统在非线性静电力、压膜阻尼、参数激励下呈现出较复杂的非线性振动、不稳定性、分岔与混沌行为。提出参数激励作用下静...
关键词:微机电系统 参数激励 静电驱动 共振传感器 压膜阻尼 
微型旋转机械轴承研究进展被引量:2
《振动与冲击》2008年第5期27-31,共5页张文明 孟光 陈迪 
国家杰出青年基金项目(10325209);国家自然科学基金项目(10602033和50575132);中国博士后基金项目(20060400165)
对微机电系统(MEMS)旋转机械微轴承,尤其是微型干摩擦、电磁和气体轴承的研究现状进行评述,介绍微型干摩擦轴承、微型电磁轴承及微型气体轴承的各种润滑特性,主要分析微型气体轴承的设计、加工制造及动力润滑特性问题,分别探讨微尺度效...
关键词:微机电系统(MEMS) 干摩擦轴承 电磁轴承 气体轴承 微尺度效应 滑流效应 
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