国家高技术研究发展计划(2001AA312100)

作品数:9被引量:20H指数:3
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相关作者:张贵彦袁宏韬王成钱龙生肖孟超更多>>
相关机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林大学更多>>
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等离子体辅助制备窄带滤光片被引量:2
《光学技术》2007年第S1期206-207,209,共3页袁宏韬 张贵彦 
国家"863"计划资助项目(2001AA312100);中科院光电集团资助项目(KGCX2-405)
研究了采用等离子辅助技术制备窄带滤光片的工艺。介绍了等离子辅助蒸镀系统的基本工作原理,描述了优化膜厚均匀性的过程。在有色玻璃上制备了由多层TiO2和SiO2薄膜组成的窄带滤光片,测试并分析了窄带滤光片的性能。试验结果表明,采用...
关键词:光学薄膜 窄带滤光片 等离子辅助沉积 
沉积方式对HfO_2薄膜激光损伤阈值的影响被引量:3
《华中科技大学学报(自然科学版)》2007年第S1期108-111,共4页袁宏韬 张贵彦 阚珊珊 
国家高技术研究发展计划资助项目(2001AA312100);中国科学院光电集团资助项目(KGCX2-405)
分别采用电子束蒸镀、离子束辅助沉积、离子束反应辅助沉积、双离子束溅射技术制备了二氧化铪薄膜,研究了薄膜的光学特性、缺陷、残余应力、弱吸收和抗激光损伤阈值.发现离子束反应辅助沉积的二氧化铪薄膜具有低的缺陷密度和高的损伤阈...
关键词:二氧化铪薄膜 激光损伤阈值 物理汽相沉积 
时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜被引量:2
《激光与红外》2007年第4期370-372,共3页袁宏韬 张贵彦 
国家"863"计划资助项目(2001AA312100);中科院光电集团资助项目(KGCX2-405)
采用双离子束溅射技术、时间控厚方式制备波长532nm绿光激光器用倍频波长分离膜。针对制备过程中产生的半波孔现象,在简单分析形成原因的基础上,采用分组厚度优化方式调整膜层厚度,从而制备出无半波孔的高品质倍频波长分离膜。为时间监...
关键词:倍频波长分离膜 时间监控 双离子束溅射 半波孔 
一种日夜两用光学低通滤波器的研制被引量:5
《光学精密工程》2006年第4期570-574,共5页袁宏韬 张贵彦 
国家"863"计划资助项目(No.2001AA312100);中科院光电集团资助项目(No.KGCX2-405)
利用石英晶体的双折射效应和特殊红外截止滤光片设计并实现了一种日夜两用光学低通滤波器。该滤波器置于CCD摄像机传感器前可以有效地降低或消除离散光电探测器对不同空间频率目标成像所产生的拍频效应或条纹混叠现象,并能消除红外光对...
关键词:光学低通滤波器 红外截止膜 双离子束溅射 
光子嫩肤用滤光片的设计与制备
《激光生物学报》2005年第6期428-431,共4页袁宏韬 张贵彦 缪同群 
国家"863"计划资助项目(2001AA312100);中科院光电集团资助项目(KGCX2-405)
分析了强脉冲光子嫩肤技术所用滤光片的特点。采用解析法构造初始膜系,单纯形法和模拟退火法相结合的优化方法设计了某型光子嫩肤仪用带通滤光片,并用盟特卡罗法分析了随机误差对滤光片光谱特性的影响,得到了理想的设计结果。采用双离...
关键词:光子嫩肤 滤光片 优化设计 离子溅射 
薄膜应力对薄膜测量和使用的影响被引量:1
《光电子.激光》2005年第5期579-583,共5页王成 马莹 张贵彦 肖孟超 钱龙生 
国家"863"计划资助项目(2001AA312100);中科院光电科技集团资助项目(KGCX2 405)
基片在薄膜应力作用下产生宏观弯曲变形,使入射光线的入射角在基片不同位置产生偏差。根据空间两直线夹角公式,计算了入射光线在曲面上任意一点的入射角,得出同一入射方向的光线在曲面不同点具有不同的入射角,即产生入射角度偏差,偏差...
关键词:薄膜测量 薄膜应力 入射光线 角度偏差 入射角 弯曲变形 应力作用 入射方向 曲率半径 耦合效率 基片 曲面 点位 实验 夹角 
薄膜应力激光测量方法分析被引量:2
《激光技术》2005年第1期98-100,共3页王成 马莹 张贵彦 肖孟超 甘志宏 缪同群 钱龙生 
国家八六三计划资助项目(2001AA312100)
总结了薄膜应力的一些测量方法。分析了利用测量基片弯曲曲率的激光宏观变形分析法———激光干涉法、激光束偏转法的理论依据及其测量原理,计算了各种测量方法的测量精度。激光干涉法的精度可达 0. 92%,可测量的最小应力值为 15. 7MPa...
关键词:激光 薄膜 应力 测量 
介质多层膜热处理分析被引量:2
《光学精密工程》2005年第1期22-27,共6页王成 高延军 肖孟超 张贵彦 钱龙生 
国家863计划资助项目(No.2001AA312100)
由薄膜压缩应力产生模型和薄膜总应力的组成出发,分析了要改变薄膜的本征应力热处理必须有足够的能量即激活能.当热处理能量低于激活能时,只能改变薄膜热应力,与处理时间无关.热应力与处理温度有线性关系,建立了波长变化量与温度变化量...
关键词:光学薄膜 热处理 热应力 
应力变化对多层薄膜窄带滤光片透射光谱的影响被引量:4
《光学精密工程》2004年第4期393-397,共5页王成 张贵彦 肖孟超 马莹 钱龙生 
国家863计划资助项目(2001AA312100);中国科学院光电科技集团项目(KGCX2 405)
利用薄膜应力公式和弹性力学的小挠度弯曲理论分析了在应力变化情况下,多层薄膜应变与膜厚变化的关系,并建立其数学模型,提出多层薄膜各层厚度变化的不均匀性理论。利用这个模型在应力减小200MPa条件下对138层4腔的100GHz滤光片光谱进...
关键词:光学薄膜 光谱退化 窄带滤光片 应力 
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