离子溅射

作品数:87被引量:204H指数:7
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相关作者:孟国文王震遐刘广强蔡伟平黄竹林更多>>
相关机构:中国科学院中国科学院合肥物质科学研究院天津大学哈尔滨工业大学更多>>
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离子溅射对合金靶材寿命的影响
《物理学报》2025年第1期85-91,共7页倪唯荣 黄海龙 卢肖勇 王晓冬 
载能离子入射带负电的离子收集沉积结构过程中会发生离子溅射,一种常用于离子加速过程的结构为圆形金属丝,持续大量离子入射会引起金属丝的表面损失,影响金属丝的服役性能及使用寿命.目前,由于常用于计算溅射产额的SRIM软件无法考虑合...
关键词:离子溅射 分子动力学 合金靶材 服役寿命 
离子溅射仪油雾污染对溅射基底的影响
《真空》2023年第4期13-17,共5页彭波 袁秋 孟晓敏 
利用光学显微镜、场发射扫描电子显微镜、原子力显微镜以及能谱仪研究了油雾污染对溅射基底(硅片、称量纸、铜箔和载玻片)微观形貌和元素含量的影响。结果表明:溅射沉积不同时间后,硅片基底上均出现球状颗粒,且颗粒随着溅射时间延长而...
关键词:离子溅射仪 油雾分子 基底 球状颗粒 
离子溅射仪
《中国科学院院刊》2023年第S01期57-57,共1页
主要技术与性能指标,玻璃腔室:内径Ф100 mm×高度130 mm,试样台尺寸:内径Ф40 mm,可同时放6个Ф13,样品杯靶材尺寸:Ф58 mm×(0.1-0.2)mm主要应用,材料的微观表征、失效分析、半导体检测、生命科学研究等显微观测时导电膜制备,增加导电...
关键词:微观表征 电极制备 样品杯 导电膜 生命科学研究 显微观测 失效分析 二次电子产额 
高温快速退火制备AgNPs/SiO_(2)中保温时间对粒径和形貌的影响被引量:1
《材料导报》2023年第7期137-141,共5页徐艳茹 汪燕青 陈焕明 马骏 侯毅 
宁夏自然科学基金(2020AAC03072,2021AAC03059);宁夏回族自治区重点研发计划项目(引才专项)(2021BEB04020)。
高温快速退火法在制备金属纳米结构方面具有成本低廉、几何结构及尺寸可控等优点,被广泛用于等离激元纳米结构的制备。高温退火下纳米颗粒形貌随保温时间的演化机理对纳米结构等离激元效应调控具有重要意义。本工作研究了900℃退火过程...
关键词:表面等离激元(SP) 高温快速退火 离子溅射 纳米银膜 保温时间 形貌演化 
n型GaAs欧姆接触电极制备工艺
《人工晶体学报》2022年第4期606-610,共5页左芬 翟章印 
江苏省自然科学基金(BK20140450);江苏省高校自然科学基金重大项目(19KJA150011)。
目前,n型GaAs欧姆接触电极的制备方法以蒸镀法为主,然而该方法具有设备价格高、浪费电极材料的缺点。本文采用离子溅射法制备了n型GaAs的欧姆接触电极AuGeNi/Au,通过优化制备过程,可获得表面光滑平整、成分均匀无偏析的电极层。400℃氩...
关键词:砷化镓 半导体 欧姆接触 金锗镍合金 电极材料 离子溅射 比接触电阻率 
离子溅射喷金对陶瓷类样品扫描电镜形貌观察的影响被引量:6
《实验科学与技术》2020年第2期21-25,共5页余凌竹 鲁建 吴永豪 路姣 孟国龙 
四川大学实验技术立项(20170212)。
该文报道了离子溅射喷金在羟基磷灰石(HA)陶瓷表面发生金粒异常长大的现象。这种由于喷金在样品表面产生的假象极大地影响了我们对样品表面真实形貌的判断。该文通过改变喷金的电流、时间以及试样对产生这种现象的原因进行了细致地探讨...
关键词:扫描电镜 离子溅射 喷金 陶瓷 
Ar^+溅射对铁系催化剂表面物相影响的XPS研究
《天然气化工—C1化学与化工》2019年第6期41-44,57,共5页韩伟 余秋玲 潘相米 艾珍 吴砚会 梁衡 邓鸿 
四川省青年科技创新研究团队专项计划项目(2019JDTD0021)
乙苯脱氢Fe-K催化剂经长时间使用后表面物相以Fe3O4为主。采用Ar+溅射对标准Fe3O4样品及使用后的乙苯脱氢Fe-K催化剂进行XPS剖面分析。研究表明,Ar^+溅射能够择优溅射两个样品表面上的O^2-、OH^-阴离子,引起样品表面上的Fe^3+还原生成Fe...
关键词:离子溅射 XPS 铁系催化剂 还原反应 乙苯 苯乙烯 
圆柱形阳极层霍尔推进器磁极溅射数值模拟被引量:1
《核聚变与等离子体物理》2019年第2期181-187,共7页李平川 唐德礼 赵杰 张帆 
国家自然科学基金(11775073);四川省应用基础(2017JY0041);国防基础科研计划(JCKY2017205B014)
通过对空心和实心内磁极的圆柱形阳极层霍尔推进器放电等离子体进行三维PIC 放电-溅射模拟,分析了放电功率和阳极附近磁场等对磁极离子溅射的影响。结果表明,实心内磁极的推进器效率较高,在较高电压和高磁场的工况下,空心内磁极圆柱形...
关键词:阳极层霍尔推进器 离子溅射 数值模拟 
快捷两步法制备金纳米电极用于活体多巴胺检测(英文)被引量:3
《电化学》2019年第2期244-251,共8页关利浩 王超 张望 蔡雨露 李凯 林雨青 
financially supported by National Natural Science Foundation (21575090);High-level Teachers in Beijing Municipal Universities in the Period of 13th Five-year Plan (CIT&TCD20190330);Scientific Research Project of Beijing Educational Committee (KM201810028008);Youth Innovative Research Team of Capital Normal University and Capacity Building for Sci-Tech Innovation-Fundamental Scientific Research Funds (19530050179, 025185305000/195)
用微电极进行活体检测神经化学物质属于侵入式分析,会对脑组织产生不可避免的损伤,进而在生理上产生一些信号干扰检测过程.减小电极的尺寸对于减小对脑组织的损伤非常重要.该研究报道了一种新型制备金纳米电极的方法并将其用于活体鼠脑...
关键词:离子溅射 化学沉积 金纳米电极 活体分析 多巴胺 
透射电镜样品制备的表面损伤和观察方法被引量:4
《分析仪器》2017年第5期71-76,共6页王岩国 丁力栋 顾建伟 闫征 胡民培 
江苏省重点研发计划项目(项目批准号BE2015216)
由于电子与物质的强相互作用,从电子枪发出的2X107电子伏特的高能电子束能穿透的材料厚度也只有约300纳米,因此样品必须非常薄才适合使用透射电子显微镜进行观测。要制备非常薄的透射电镜样品需要经过包括机械研磨和离子溅射等一系列的...
关键词:电子显微学 样品制备 表面损伤 表面观察 离子溅射 
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