《微纳电子技术》

作品数：4620被引量：7316H指数：21
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《微纳电子技术》
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
最新期次：2025年3期更多>>
发文主题：MEMS微电子机械系统微机电系统纳电子技术CMP更多>>
发文领域：电子电信机械工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文作者：刘玉岭王辰伟杨拥军熊继军郭维廉更多>>
发文机构：中国科学院中国电子科技集团第十三研究所中北大学河北工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划河北省自然科学基金更多>>
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中国科学院
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作品数：392516被引量：1875717H指数：293
发文主题：催化剂 土壤 英文 青藏高原 遥感
发文领域：天文地球 理学 农业科学 自动化与计算机技术 生物学
中国电子科技集团第十三研究所
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作品数：2400被引量：4095H指数：17
发文主题：芯片 GAN 衬底 半导体器件 校准
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 电气工程 一般工业技术
中北大学
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作品数：41220被引量：105213H指数：47
发文主题：数值模拟 FPGA 系统设计 性能研究 大学生
发文领域：自动化与计算机技术 文化科学 电子电信 理学 化学工程
河北工业大学
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作品数：41206被引量：131935H指数：61
发文主题：数值模拟 性能研究 机器人 大学生 力学性能
发文领域：自动化与计算机技术 经济管理 建筑科学 电气工程 文化科学
上海交通大学
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作品数：187845被引量：867141H指数：172
发文主题：数值模拟 儿童 神经网络 机器人 仿真
发文领域：医药卫生 自动化与计算机技术 经济管理 电子电信 文化科学
中北大学信息与通信工程学院
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作品数：6550被引量：19035H指数：32
发文主题：FPGA 系统设计 基于FPGA 数据采集 MEMS
发文领域：自动化与计算机技术 电子电信 机械工程 理学 一般工业技术
中北大学信息与通信工程学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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作品数：3397被引量：11135H指数：28
发文主题：FPGA 系统设计 基于FPGA MEMS 数据采集
发文领域：自动化与计算机技术 电子电信 机械工程 理学 兵器科学与技术
太原理工大学
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作品数：61443被引量：185673H指数：74
发文主题：数值模拟 性能研究 力学性能 催化剂 煤
发文领域：自动化与计算机技术 矿业工程 建筑科学 理学 化学工程
中国科学院微电子研究所
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作品数：3466被引量：7823H指数：21
发文主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 电气工程 机械工程
河北工业大学信息工程学院
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作品数：1232被引量：3662H指数：20
发文主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 电气工程 文化科学
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