《微纳电子技术》

作品数：4620被引量：7316H指数：21
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《微纳电子技术》
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
最新期次：2025年3期更多>>
发文主题：MEMS微电子机械系统微机电系统纳电子技术CMP更多>>
发文领域：电子电信机械工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文作者：刘玉岭王辰伟杨拥军熊继军郭维廉更多>>
发文机构：中国科学院中国电子科技集团第十三研究所中北大学河北工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划河北省自然科学基金更多>>
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