中国电子科技集团第十三研究所

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发文作者：冯志红吴爱华吕元杰梁法国宋旭波更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
发文主题：芯片GAN衬底半导体器件校准更多>>
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基于衬底台阶调控技术的高质量GaN生长
《半导体技术》2025年第5期481-487,共7页高楠 房玉龙 王波 张志荣 尹甲运 韩颖 刘超 
GaN晶体质量提升对材料及器件性能优化至关重要。通过金属有机物化学气相沉积(MOCVD)在SiC衬底上对GaN晶体质量进行了实验研究。对比了高温H,刻蚀与高温HCl刻蚀对衬底台阶的影响,并对后续生长的AIN和GaN晶体质量进行了表征,发现增加衬...
关键词：金属有机物化学气相沉积(MOCVD) GAN 衬底台阶 高温刻蚀 半高宽(FWHM) 
室温晶圆键合的金刚石基GaN HEMT制备与性能
《半导体技术》2025年第5期468-472,共5页张栋曜 周幸叶 郭红雨 余浩 吕元杰 冯志红 
国家重点研发计划项目(2022YFB3404304)。
GaN作为第三代宽禁带半导体材料,具有较大的自发极化系数和压电系数,可承受高功率密度,适用于高频、高温、大功率器件。随着GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)向小型化、大功率发展,散热问题已成为制约GaN功率器件性能提升的重要因素。高热导...
关键词：GAN 金刚石 微波功率 结温 散热能力 
Ka波段小型化多通道新型封装天线设计
《微纳电子技术》2025年第5期38-45,共8页杨兆龙 刘林杰 乔志壮 
封装天线(AiP)是一种能够实现低成本制备、高性能以及小体积天线的技术,在移动通信等领域有着广泛的应用。目前以高温共烧陶瓷(HTCC)作为封装材料的AiP大多属于多层结构,通过牺牲天线尺寸来实现宽带和高增益特性,结构复杂,集成度较低。...
关键词：封装天线(AiP) 小型化 多通道 KA波段 高温共烧陶瓷(HTCC) 
一种高稳定性带过流保护的LDO电路设计
《微纳电子技术》2025年第5期46-53,共8页韩富璇 何庆国 王鑫 马琳 
采用0.25μm CMOS工艺设计了一种高稳定性带过流保护功能的低压差线性稳压器(LDO)。该LDO包括带隙基准电路、误差放大器、过流保护电路等。过流保护电路可以在LDO负载超过设定值时关闭LDO电路。误差放大器主环路采用负载电容等效串联电...
关键词：低压差线性稳压器(LDO) 过流保护 高稳定性 频率补偿 误差放大器(EA) 
基于低存储量的相控阵指向精度优化
《电子科技》2025年第5期53-59,共7页王琰 赵鹏 刘成 赵永志 
国家自然科学基金(61831016)。
针对高指向精度需求和低存储量需求相矛盾的问题,文中提出了一种基于线性插值的移相器值获取方法,在大步进电扫的存储量前提下进行小步进电扫。计算电扫精度和所需存储量的关系,分析线性插值的可行性,分别对移相器值中的位置数据和角度...
关键词：相控阵天线 移相器值 线性插值 指向精度 波束形成 存储量 电扫 方向图 
界面停顿对生长量子级联激光器InGaAs/InAlAs超晶格晶体质量的影响
《微纳电子技术》2025年第5期63-68,共6页王祎玮 房玉龙 张曦 商耀辉 赵辉 师巨亮 
河北省自然科学基金(F2023516003)。
量子级联激光器(QCL)界面质量对材料质量和器件性能的影响很大,通过分子束外延(MBE)设备生长了高微分增益结构的QCL。研究了界面停顿对InGaAs/InAlAs超晶格质量的影响。改变超晶格层与层之间的中断时间(10、15、25、35、40s)后,发现界...
关键词：超晶格 应变补偿 量子级联激光器(QCL) 外延 界面停顿 
应用于热泵空调系统的MEMS压力温度传感器设计及验证
《微纳电子技术》2025年第5期80-86,共7页许鹏 聂靖宇 王伟忠 李保岭 
为了延长电动汽车的续航能力,热泵空调系统逐渐取代了传统的正温度系数(PTC)热敏电阻空调,应用于热泵空调系统的压力温度传感器是系统控制的关键部件。基于一款可以直接接触冷媒的微电子机械系统(MEMS)压阻式压力芯片,采用无引线倒装焊...
关键词：热泵空调系统 压力温度传感器 模块化装配 压阻式微电子机械系统(MEMS) 无引线封装 
基于QST衬底的厚GaN外延材料生长研究
《微纳电子技术》2025年第4期108-113,共6页韩颖 高爽 房玉龙 王波 高楠 张志荣 
河北省省级科技计划资助(22280601Z)。
在QST复合衬底上生长出厚度超过12μm的GaN外延层。测试结果表明外延片表面平整、无裂纹;原子力显微镜(AFM)分析表明样品表面为良好的台阶流形貌,样品表面中心的均方根表面粗糙度为0.224 nm;外延片的弯曲度仅为6.086μm,这对于维持器件...
关键词：QST衬底 热膨胀系数(CTE) 厚外延 二维电子气(2DEG) 异质外延 
基于分布式声波传感系统的声波信号探测研究
《微纳电子技术》2025年第4期133-139,共7页解涛 秦海鑫 万强 董朝强 徐晨 
利用分布式光纤传感技术在10 km长单模光纤(SMF)上进行声波信号的探测。采用搭建的分布式声波传感(DAS)系统,对不同频率(500、1000和2000 Hz)、不同声压(90~110 dB)的声波信号进行全光纤范围内的探测,实现了10 km光纤沿路的分布式声波...
关键词：分布式光纤传感技术 分布式声波传感(DAS) 声波探测 双向无源 声源定位 
高精确度大比特位延时器芯片研制
《太赫兹科学与电子信息学报》2025年第4期340-345,359,共7页陈月盈 刘帅 杨柳 赵子润 
基于GaAs衬底增强/耗尽型赝配高电子迁移率晶体管(E/D pHEMT)工艺,研制了一款0.5~6 GHz三位可调1400 ps数控延时器芯片。芯片尺寸为3.60 mm×4.00 mm×0.07 mm,集成了3位数控延时器和3 bit并口驱动电路。在0.5~6 GHz范围内,该数控延时...
关键词：宽带 大延时量 砷化镓 高精确度 微波单片集成电路(MMIC) 
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