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光刻机视像自动对准系统的开发
《电子工业专用设备》2019年第6期45-49,共5页王勇 封国齐 陈旭东 曹永辉 
设计视像自动对准系统采用工业相机从MICRALIGN M系列投影式光刻机的双目显微镜提取含有掩模对准标记和晶圆对准标记图像,经过图像处理后获取对准标记的位置坐标以及掩模标记与晶圆标记间坐标差,控制晶圆或者掩模调整平台位置,实现光刻...
关键词：光刻机 视像 自动对准 机器视觉 
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