TRICHLOROSILANE

作品数：16被引量：10H指数：1
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Quartz Crystal Microbalances for Evaluating Gas Motion Differences between Dichlorosilane and Trichlorosilane in Ambient Hydrogen in a Slim Vertical Cold Wall Chemical Vapor Deposition Reactor被引量：1
《Advances in Chemical Engineering and Science》2020年第3期190-200,共11页Mana Otani Toshinori Takahashi Hitoshi Habuka Yuuki Ishida Shin-Ichi Ikeda Shiro Hara 
A dichlorosilane gas and a trichlorosilane gas in ambient hydrogen were evaluated to show their different gas flow motions in a slim vertical cold wall chemical vapor deposition reactor for the Minimal Fab system. Thi...
关键词：Minimal Fab Chemical Vapor Deposition Reactor Quartz Crystal Microbalance Silicon Epitaxial Growth TRICHLOROSILANE DICHLOROSILANE 
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