ETCH

作品数：54被引量：55H指数：4
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Effect of internal structure of a batch-processing wet-etch reactor on fluid flow and heat transfer
《Chinese Journal of Chemical Engineering》2024年第8期177-186,共10页Qinghang Deng Junqi Weng Lei Zhou Guanghua Ye Xinggui Zhou 
financially supported by the National Natural Science Foundation of China(22378115 and 22078090);the Shanghai Rising-Star Program(21QA1402000);the Natural Science Foundation of Shanghai(21ZR1418100);the Fundamental Research Funds for the Central Universities(JKA01231803)。
Batch-processing wet-etch reactors are the key equipment widely used in chip fabrication,and their performance is largely affected by the internal structure.This work develops a three-dimensional computational fluid d...
关键词：Wet-etch reactor Batch-processing Computational fluid dynamics Reaction heat Internal structure Etch uniformity 
Effects of Surface Etch Hole Fault on the Velocity Field in Microchannel Reactors被引量：2
《Chinese Journal of Chemical Engineering》2009年第6期919-924,共6页尤学一 李胜华 
Supported by the National Natural Science Foundation of China （20676093）.
Microchannel reactors are commonly used in micro-chemical technology. The performance of microreactors is greatly affected by the velocity field in the microchannel. The flow field is disturbed by the cylindrical etch...
关键词：MICROCHANNEL processing faults etch holes computational fluid dynamics velocity field 
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