CRALN

作品数:63被引量:191H指数:9
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相关领域:金属学及工艺一般工业技术更多>>
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不同过渡层对CrAlN涂层结构和膜基结合力的影响
《辽宁科技大学学报》2023年第6期409-414,共6页蔡钊 李彦 郭媛媛 张泽 代师宇 吴俊材 
辽宁科技大学大学生创新创业训练计划(S202210146025)。
为调节CrAlN涂层结构,提高CrAlN涂层的膜基结合力,本文采用等离子体增强磁控溅射系统在316L奥氏体不锈钢表面沉积CrAlN涂层,并在CrAlN涂层与基体之间增加纯Cr、Ti过渡层,对涂层的形貌、成分、相结构和结合力进行对比研究。分别采用XRD、...
关键词:CrAlN涂层 磁控溅射 形貌 相结构 结合力 
基体偏压对高功率脉冲磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响被引量:1
《中国表面工程》2022年第5期200-209,共10页张辉 巩春志 王晓波 张炜鑫 田修波 
黑龙江省自然科学基金联合引导项目(LH2019A014);国家自然科学基金(11875119和12075071)资助项目
为了防止氢扩散导致金属材料的失效,通常在其表面制备一层CrN阻氢薄膜。但是CrN涂层的热稳定性较差,抗氧化温度低于600℃。采用高功率脉冲磁控溅射技术,利用Cr和Al双靶共沉积CrAlN薄膜来提高其高温抗氧化性能。试验变量为基体负偏压的大...
关键词:CRALN 高功率脉冲磁控溅射 基体偏压 阻氢 高温抗氧化 
基体偏压对磁控溅射制备CrAlN纳米多层薄膜微观结构和力学性能的影响被引量:6
《机械工程材料》2021年第3期41-45,共5页王宇星 张侠 
浙江省自然科学基金资助项目(Y15E050060)。
采用磁控溅射技术在不同基体偏压(-60,-70,-80,-90 V)下制备了CrAlN纳米多层薄膜,研究了基体偏压对薄膜微观结构和力学性能的影响。结果表明:随着基体偏压绝对值增大,CrAlN纳米多层薄膜中的氮含量增加,物相组成不变,择优取向由CrN(111)...
关键词:CrAlN纳米多层薄膜 磁控溅射 基体偏压 微观结构 力学性能 
磁控溅射制备的Cr/CrN和Cr/CrN/CrAlN涂层耐腐蚀性能对比研究被引量:7
《表面技术》2020年第2期272-280,共9页宋肖肖 欧阳俊杰 赵婕宇 胡登科 陈亚军 
目的比较Cr/CrN/CrAlN涂层和Cr/CrN交替涂层的耐腐蚀性能。方法利用电化学极化曲线、阻抗谱和中性盐雾试验进行测量,结合扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)表征微观形貌,分析两种涂层耐腐蚀性能的差异。同时,为研究涂层在服役中...
关键词:磁控溅射镀膜 Cr/CrN Cr/CrN/CrAlN 电化学实验 耐腐蚀性能 
磁控溅射Cr/CrN和Cr/CrN/CrAlN涂层的抗高温氧化性能被引量:5
《中国表面工程》2020年第1期63-72,共10页宋肖肖 李柯 赵婕宇 董艇舰 胡登科 陈亚军 
中央高校基本科研业务费项目中国民航大学专项项目(3122019177)
为了提高航空紧固件涂层的高温工况防护能力,采用磁控溅射技术在钛合金表面分别制备Cr/Cr N交替涂层和Cr/Cr N/Cr Al N涂层,研究氧化时间和氧化温度对涂层高温氧化性能影响。利用SEM、EDS和XRD进行微观形貌和物相成分分析,采用热重法分...
关键词:磁控溅射 Cr/CrN Cr/CrN/CrAlN 涂层 高温氧化 扩散机理 
HIPIMS技术制备CrN及CrAlN涂层的性能被引量:8
《材料热处理学报》2019年第4期127-135,共9页朱宇杰 马景灵 王广欣 秦聪慧 Heinz Rolf Stock 
河南省自然科学基金培育项目(162300410087)
用高能脉冲靶和双极脉冲靶共溅射的方式,采用高功率脉冲磁控溅射技术(HIPIMS)在高速钢基片(W18Cr4V)上制备了CrN涂层和CrAlN涂层((H+B)CrN、(H+B)CrAlN);同时采用第四代电弧离子镀技术(ARC evaporators)在高速钢基片上制备了CrN涂层和Cr...
关键词:高功率脉冲磁控溅射技术(HIPIMS) 共溅射 CRN CRALN 膜基结合力 耐腐蚀性 
W掺杂对CrAlN薄膜微观结构及力学性能的影响被引量:1
《工具技术》2019年第3期97-100,共4页邓玉娟 王宇星 
浙江省自然科学基金(LY15E050017)
通过改变W靶电流,采用磁控溅射技术在M2工具钢表面制备不同W含量的CrAlWN薄膜,利用SEM、EDS、XRD、纳米压痕仪和摩擦磨损试验仪研究了不同W含量的CrAlWN梯度薄膜的微观结构、膜/基结合力、力学性能和摩擦磨损性能。结果表明:CrAlN和CrA...
关键词:磁控溅射 CrAlWN薄膜 微观结构 力学性能 摩擦磨损性能 
直流溅射沉积CrAlN和CrN薄膜微观结构与摩擦性能分析研究(英文)被引量:10
《稀有金属材料与工程》2018年第4期1100-1106,共7页任兴润 黄柱 刘美霞 羊建高 陈颢 
National Natural Science Foundation of China(51464013);Project of Education Department of Jiangxi Province(GJJ14414);Innovation Special Funds for Graduate Students(ZS201550);Program of Qingjiang Excellent Young Talents,Jiangxi University of Science and Technology
采用直流反应溅射在304不锈钢表面沉积CrAlN和CrN薄膜。利用X射线衍射仪(XRD),扫描电子显微镜(SEM),X射线光电子能谱仪(XPS),原子力显微镜(AFM)等表征Al元素的加入对CrN薄膜成分与组织结构的影响。采用摩擦磨损试验机和3 mm的Si_3N_4作...
关键词:磁控溅射 CrAlN薄膜 CRN薄膜 显微结构 摩擦性能 
含过渡层TiAlN和CrAlN硬质膜的制备及其抗氧化性能研究被引量:2
《沈阳理工大学学报》2018年第2期63-66,共4页房海波 宋亮 尹雪 张罡 
采用磁控溅射技术制备TiAlN、CrAlN及含Ti、Cr过渡层的TiAlN、CrAlN四种薄膜,并对其进行850℃大气热处理实验,通过激光共聚焦显微镜、纳米压痕仪对热处理后的试样进行测试。表征结果显示:热处理后的TiAlN薄膜及含有Ti过渡层的TiAlN薄膜...
关键词:磁控溅射 TIALN CRALN 过渡层 
基于X射线反射研究溅射工艺对CrAlN/TiAlN周期膜界面结构的影响
《中国表面工程》2018年第1期67-73,共7页杜晓明 郑凯峰 王燕 李新喜 张罡 黄朝强 
辽宁省教育厅科研基金(LG201620);中国工程物理研究院中子物理学重点实验室开放基金(2014BB05)~~
为研究X射线反射技术在纳米多层膜界面微结构表征中的应用,采用反应磁控溅射技术在单晶硅基片上制备CrAlN/TiAlN纳米周期膜,利用X射线反射技术系统研究溅射工艺参数对CrAlN/TiAlN纳米周期膜界面微结构的影响规律。结果表明:增加铝靶功...
关键词:磁控溅射 纳米周期膜 CrAlN/TiAlN X射线反射 界面微结构 
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