AACVD

作品数：4被引量：2H指数：1
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相关领域：一般工业技术理学更多>>
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相关期刊：《无机化学学报》《燕山大学学报》《功能材料》《Materials Sciences and Applications》更多>>
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钽掺杂FTO薄膜的制备及其光学电学性能的影响
《功能材料》2024年第7期7183-7190,共8页吴宝棋 付晨 刘起英 史国华 王智浩 赵洪力 
国家自然科学基金项目(52172105)。
采用气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)以单丁基氯化锡(MBTC)为锡源、氟化铵(NH 4F)为氟源、甲醇做溶剂、五氯化钽(TaCl_(5))为钽源在钠钙玻璃上成功沉积Ta掺杂的FTO(TFTO)薄膜。通过X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、X光电子能谱(X...
关键词：FTO薄膜 钽掺杂 AACVD 光学性能 电学性能 低辐射性能 
AACVD方法制备FTO薄膜及其结构与光电性能研究被引量：1
《燕山大学学报》2018年第3期234-239,共6页林威豪 马晔城 陈胜男 汪建勋 韩高荣 
国家重点研发计划资助项目(2016YFB0303900)
以单丁基三氯化锡为Sn源,氟化铵为F源,甲醇为溶剂,采用超声雾化-气溶胶辅助气相化学沉积方法制备了均匀的FTO(SnO_2:F)透明导电薄膜。运用X射线衍射、场发射扫描电子显微镜、原子力显微镜、透射电子显微镜、霍尔效应测试仪等方法研究了...
关键词：气溶胶辅助 化学气相沉积 FTO薄膜 低辐射性能 
Composition and Band Gap Controlled AACVD of ZnSe and ZnS<sub>x</sub>Se<sub>1-x</sub>Thin Films Using Novel Single Source Precursors
《Materials Sciences and Applications》2017年第10期726-737,共12页Yousef Alghamdi 
Polycrystalline thin films of ZnSe and ZnSxSe1-x have been deposited on glass substrates by Aerosol Assisted Chemical Vapour Deposition (AACVD) from bis(diethyldiselenocarbamato)zinc(II) and a 1:1 and 1:0.75 mixtures ...
关键词：Bis(diethyldiselenocarbamato)zinc(II) ZNSE ZNSSE AACVD SEM 
温度对AACVD法制备AZO透明导电薄膜的影响被引量：1
《无机化学学报》2013年第4期723-728,共6页秦秀娟 邵光杰 赵琳 
河北省自然科学基金(No.B2012203070);河北省教育厅科学研究计划河北省高等学校自然科学研究重点项目(No.ZH2011228)资助项目
低成本、大面积、沉积速率高、均匀性好、光电性能优良的Al掺杂ZnO薄膜(AZO)制备技术依然是透明导电薄膜领域研究的重点之一。本文采用冷壁式气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)技术在玻璃衬底上制备了AZO透明导电薄膜,研究了衬底温度对薄...
关键词：气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD) AZO薄膜 温度 极性半导体 结晶质量 
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