异质栅

作品数:16被引量:15H指数:2
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异质栅单Halo沟道SOI中隐埋层对器件特性的影响
《固体电子学研究与进展》2011年第1期48-52,共5页黄玮 钟传杰 
研究异质栅单Halo沟道SOI MOS器件的隐埋层中二维效应对器件特性,如电势分布、阈值电压等的影响,仿真结果表明,隐埋层中的二维效应会引起更明显的SCE及DIBL效应。在考虑隐埋层二维效应的基础上,提出了一个新的二维阈值电压模型,能较好...
关键词:异质栅 单Halo 绝缘体上的硅 二维效应 阈值电压 
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