云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 原子层外延

原子层外延: 作品数：21被引量：16H指数：2; 导出分析报告; 相关领域：电子电信理学更多>>; 相关作者：罗岚郭锐张峰赵万顺刘勇更多>>; 相关机构：中国科学院信越半导体株式会社华中科技大学华南师范大学更多>>; 相关期刊：《液晶与显示》《材料导报》《半导体光电》《光电子技术》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划福建省自然科学基金广东省重大科技专项更多>>

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应用原子层外延技术分析Turbo-Disk MOCVD外延生长模式: 《液晶与显示》2004年第2期128-133,共6页王浩廖常俊范广涵刘颂豪郑树文李述体郭志友孙慧卿陈贵楚陈炼辉; 国家科技攻关计划资助项目 (No.0 0 0 68) ;国家"973"资助项目 ( 0 0 1CB3 0 93 0 2 ) ;广东省重大科技专项资助项目 (No .2 0 0 3A10 3 0 40 5 ); 应用原子层外延与分子层外延的理论研究了Turbo DiskMOCVD外延生长过程 ,发现生长主要发生在衬底表面的台阶处 ,当通过控制生长参数达到优质外延时 ,实际上是一种亚原子外延过程。; 关键词：原子层外延法分子层外延法金属有机化学气相淀积参数调整外延设备 ALE反应装置