真空计

作品数：334被引量：390H指数：9
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相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
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相关机构：兰州空间技术物理研究所中国科学院兰州物理研究所中国科学院北京东方计量测试研究所更多>>
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基于虚拟仪器的真空计参数自动测试系统被引量：7
《仪表技术与传感器》2020年第6期63-67,82,共6页赵博文 梁西银 颜昌林 谢凌菲 马丽萍 蔡坤辉 
甘肃省科技支撑计划项目(1304GKCA024);甘肃省科技重大专项计划资助项目(1602GKDA015)。
针对真空计参数测试过程中数据采集实时性差、自动化程度不高、测试点真空度调节困难等问题,设计出一套真空计参数自动测试系统。以LabVIEW为软件开发平台,采用RS485通信方式实现对真空计、气体质量流量控制器数据的实时自动采集;采用...
关键词：真空计 LABVIEW PID-自整定 
基于DDS的可调精度真空计
《仪表技术与传感器》2006年第2期16-18,共3页黄天戍 陈苒菁 
针对传统真空计存在的精度低、测量范围窄、控制电路复杂、应用环境有限等问题,提出了一种新型的基于DDS技术的查表式数据采集腔体内置式真空测量计的设计方案。介绍了该方法所采用的新颖查表式数据采集方法、DDS频率激励技术和标准的...
关键词：DDS JI网络 谐振阻抗 
基于MSP430F149单片机的真空远程控制系统被引量：9
《仪表技术与传感器》2004年第8期24-25,共2页郭玉辉 王彦瑜 李小强 朱海君 乔卫民 
介绍了通过RS485总线和Intranet网络来实现对远程真空系统控制模块VAC400的控制和监测,并给出软件的C程序实现和部分硬件功能模块的程序流程图。系统控制模块VAC400采用TI公司的MSP430F149混合信号处理器,具有超低功耗的高集成度等优点...
关键词：MSP430 真空计 网络 通讯协议 
数字式石英晶振真空计被引量：4
《仪表技术与传感器》2001年第4期15-16,24,共3页齐本胜 凌明芳 王华萍 
国家九五科技攻关项目
文中介绍一种新型数字式能测量粗中真空度的真空计和传感器的硬件设计。
关键词：真空计 传感器 晶体振荡器 真空度 石英晶度 
硅微机械谐振传感器稳幅式真空计的研究被引量：3
《仪表技术与传感器》1999年第8期14-16,共3页金心宇 张昱 周绮敏 王跃林 
国家自然科学基金
文中介绍硅微机械谐振真空传感器的特点及配套研制的真空计。利用恒定振幅闭环测控电路方式，使整机具有良好的灵敏度和可靠性。真空度测量范围接近１０２～１０－１Ｐａ，测量响应速度为十几毫秒。
关键词：硅微机械 谐振 真空传感器 闭环测控 真空计 
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