等离子体氮化

作品数：44被引量：48H指数：4
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相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
相关作者：王庆巴德纯徐林宾韧刘二强更多>>
相关机构：东京毅力科创株式会社上海华力微电子有限公司东北大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
相关期刊：《等离子体应用技术快报》《材料保护》《机械工程材料》《真空科学与技术学报》更多>>
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喷丸预处理对Ti6Al4V合金低温等离子体氮化的影响被引量：1
《稀有金属材料与工程》2021年第10期3462-3469,共8页刘珍 于首明 刘道新 史海兰 何光宇 
National Natural Science Foundation of China(51771155);National Science and Technology Major Project(2017-VII-0012-0107)。
为改善钛合金表面耐磨性能,同时达到防止薄壁零部件变形和节约能源的目的,以Ti6Al4V钛合金为对象,研究了喷丸强化预处理对钛合金低温渗氮层及耐磨性的改善作用。结果表明,喷丸强化预处理能够有效促进钛合金表面低温离子渗氮过程,在500...
关键词：TI6AL4V钛合金 喷丸强化 低温氮化 摩擦磨损 
医用锻造CoCrMo合金等离子氮化微观结构及摩擦性能（英文）被引量：3
《稀有金属材料与工程》2017年第1期51-56,共6页徐林 巴德纯 王庆 蔺增 
Scientific Research Foundation for the Returned Overseas Chinese Scholars,State Education Ministry(2014475)
采用高压直流等离子体氮化技术,对医用锻造钴铬钼合金进行表面氮化处理,考察了氮化温度及时间对钴铬钼合金摩擦性能及润湿性能的影响。运用X射线衍射仪及场发射扫描电镜分析氮化层物相组成及表面微观结构;用显微硬度计和光学动/静态接...
关键词：医用锻造钴铬钼合金 高压直流等离子体氮化 显微硬度 润湿性 摩擦性能 
双层辉光等离子体氮化制备梯度Ti-N陶瓷层的技术和机理被引量：2
《稀有金属材料与工程》2005年第z2期1218-1220,共3页郑传林 齐荣 徐重 
国家"863"高科技资助项目(7150080050),北交大人才基金资助项目
采用双层辉光等离子氮化技术对纯钛进行处理,原位合成了Ti-N梯度陶瓷层,以满足耐磨性和生物相容性的要求.结果显示,Ti-N陶瓷层主要有ε-Ti2N,δ-TiN和α-Ti(N)相组成,成分和显微硬度随试样处理层深度成梯度变化.对双辉等离子氮化原位形...
关键词：双层辉光 空心阴极 等离子体氮化 Ti-N陶瓷层 机理 
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