等离子体密度

作品数：169被引量：264H指数：7
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相关机构：东京毅力科创株式会社中国科学院中国科学院等离子体物理研究所中国科学技术大学更多>>
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《哈尔滨工业大学学报》2021年第2期154-154,共1页李春伟 田修波 姜雪松 徐淑艳 
封面图片来自本期论文“高离化率电-磁场协同增强HiPIMS高速沉积特性”,是采用电-磁场协同增强HiPIMS新技术制备的钒膜AFM三维立体表面形貌图.高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)是一门新兴的高度电离化物理气相沉积技术,具有峰值功率密度...
关键词：抗高温氧化性 物理气相沉积 高离化率 高功率脉冲磁控溅射 脉冲频率 摩擦磨损性 等离子体密度 三维立体 
新型阴极弧电源研制及脉冲增强电子发射(P3e)效应研究被引量：2
《真空》2014年第4期31-34,共4页马英鹤 田修波 蔡明哲 孙伟龙 孔营 寇睿 巩春志 
国家自然科学基金(E050803;U1330110)
本文研制了新型脉冲阴极弧电源,并实现了脉冲增强电子发射(P3e)以提高真空室内等离子体密度。该电源核心由脉冲发射和维持电流系统构成,由单片机和触摸屏系统协同控制和管理。对P3e电源进行放电特性和脉冲增强电子发射效应进行了研究。...
关键词：阴极弧 脉冲增强电子发射 脉冲电流 基体电流 等离子体密度 
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