等离子体源

作品数：251被引量：448H指数：10
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Ar射频放电特性随时间演化的PIC／MCC模拟被引量：2
《核技术》2012年第1期49-54,共6页张浚源 陈峰 孙伟中 吕晓丹 贺平逆 苟富均 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(批准号:2009GB104006);贵州省优秀青年科技人才培养计划(批准号:700968101)资助
采用等离子体粒子模拟方法(PIC/MCC)方法对一维模型模拟了容性耦合等离子体(CCP)源放电过程中等离子体的动力学行为。在模拟氩气放电的过程中,综合考虑了电子与Ar之间的弹性碰撞、激发、电离以及Ar与Ar+之间的弹性碰撞和电荷交换过程。...
关键词：等离子体 鞘层 等离子体粒子模拟方法(PIC/MCC) 容性耦合等离子体源(CCP) 
多阴极金属等离子体源的特性及应用研究被引量：2
《核技术》2011年第1期18-21,共4页解志文 王浪平 王小峰 闫久春 黄磊 陆洋 
国家自然科学基金(10875033)资助
设计了一种新型的多阴极金属等离子体源,对离子流分布均匀性、导管偏压和约束磁场电流进行了测试和优化。采用该装置制备了TiAlSiN多元复合薄膜,利用EDX、XRD、XPS和纳米探针对薄膜的组成、微结构和力学性能进行测试分析。结果表明,该...
关键词：多阴极等离子体源 均匀性 复合薄膜 硬度 
阴极真空弧源磁过滤弯管偏压模式研究
《核技术》2002年第1期61-64,共4页张涛 张荟星 朱剑豪 Brown I G 
北京市科技新星计划 (95 2 870 40 0 )资助
为了改进阴极真空弧等离子体通过磁过滤弯管的传输效率 ,测定了磁过滤弯管出口离子电流与阴极弧流的关系。结果表明 :磁过滤弯管内表面中 ,靠近大径中心一侧的表面 (内侧面 )和远离大径中心一侧的表面 (外侧面 )与等离子体的相互作用是...
关键词：阴极弧离子源 磁过滤弯管 等离子体传输 偏压模式 等离子体源 
电子回旋共振等离子体源的特性被引量：4
《核技术》2000年第10期707-712,共6页刘仲阳 孙官清 张大忠 陈剑宣 钟光武 
简要描述了一台频率为２．４５ＧＨｚ的电子回旋共振（ＥＣＲ）等离子体源的特性测试，结果表明，放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场、微波输入功率和真空度等参数均有着密切关系。当磁场达到共振条件８７．５ｍＴ时，等离子...
关键词：电子回旋共振 等离子体源 特性 结构 CAD 
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