吕晓丹

作品数：16被引量：18H指数：3
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发文主题：分子动力学分子动力学模拟刻蚀SICAR更多>>
发文领域：电子电信理学核科学技术文化科学更多>>
发文期刊：《核技术》《材料导报（纳米与新材料专辑）》《核聚变与等离子体物理》《物理学报》更多>>
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电流对多级弧放电装置中的氩等离子体
《真空科学与技术学报》2012年第7期630-635,共6页张浚源 王鹏 陈峰 孙伟中 吕晓丹 苟富均 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项资助的课题(批准号:2009GB104006)
使用PLASIMO模拟了不同外加电流对多级弧放电产生的非热平衡下的氩等离子体特性的影响。在模拟中,腔体两端所加电流分别为30,50,70和90 A;模拟结果表明,在模拟区域内,电子密度呈先增大后减小的趋势,并且随着外加电流的增加,中心轴线上...
关键词：流体 多级弧放电 氩等离子体特性 电子密度 电子温度 
Ar射频放电特性随时间演化的PIC／MCC模拟被引量：2
《核技术》2012年第1期49-54,共6页张浚源 陈峰 孙伟中 吕晓丹 贺平逆 苟富均 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(批准号:2009GB104006);贵州省优秀青年科技人才培养计划(批准号:700968101)资助
采用等离子体粒子模拟方法(PIC/MCC)方法对一维模型模拟了容性耦合等离子体(CCP)源放电过程中等离子体的动力学行为。在模拟氩气放电的过程中,综合考虑了电子与Ar之间的弹性碰撞、激发、电离以及Ar与Ar+之间的弹性碰撞和电荷交换过程。...
关键词：等离子体 鞘层 等离子体粒子模拟方法(PIC/MCC) 容性耦合等离子体源(CCP) 
F原子与Si表面相互作用的动力学研究被引量：6
《真空科学与技术学报》2012年第1期53-58,共6页赵成利 邓朝勇 孙伟中 吕晓丹 陈峰 贺平逆 张浚源 刘玉杰 苟富均 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(批准号:2009GB104006);贵州省优秀青年科技人才培养计划资助的课题(批准号:700968101)
采用分子动力学方法模拟了F原子与Si表面相互作用,F原子入射能量分别为0.3,1,3,5,7和9 eV。在模拟过程中,F原子的沉积率与Si表面悬键密度有关,而Si原子的刻蚀率与表面晶格结构破坏程度有关,随着Si原子刻蚀率的增加,样品高度降低。在不...
关键词：分子动力学 沉积 刻蚀 Si-F反应层 
分子动力学模拟不同入射角度的SiF_3^+对SiC表面的作用
《材料导报》2012年第2期144-149,共6页贺平逆 吕晓丹 赵成利 苟富均 
贵州省优秀青年科技人才培养计划(700968101);国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(2009GB104006)
采用分子动力学模拟方法研究了300K入射能量150eV时,以不同角度(5°、30°、60°和75°)入射的SiF3+与SiC表面的相互作用过程。模拟中使用了用于Si-F-C体系的Tersoff-Brenner势能函数。模拟结果显示,入射SiF3+与SiC表面相互作用后会分解...
关键词：分子动力学 SiF3+刻蚀SiC 分子动力学模拟 SIC 
Ar流速对多级弧放电装置中Ar等离子特性的影响被引量：1
《强激光与粒子束》2011年第12期3338-3344,共7页张浚源 王鹏 孙伟中 吕晓丹 贺平逆 苟富均 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项基金项目(2009GB104006)
采用PLASIMO程序模拟了入口处Ar流速对多级弧放电产生的非热平衡Ar等离子体特性的影响。模拟结果发现:从入口处到出口处,沿中心轴线,压强逐渐降低,电子平均能量基本保持不变。当流速一定时,从器壁到中心轴线处,电子数密度呈增大趋势;从...
关键词：流体 多级弧放电 氩等离子体特性 流速 电子温度 
F原子与SiC(100)表面相互作用的分子动力学模拟
《物理学报》2011年第9期474-479,共6页贺平逆 吕晓丹 赵成利 宁建平 秦尤敏 苟富均 
贵州省优秀青年科技人才培养计划(批准号:700968101);国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(批准号:2009GB104006)资助的课题~~
本文采用分子动力学模拟方法研究了F原子(能量在0.5—15eV之间)与表面温度为300K的SiC(100)表面的相互作用过程.考察了不同能量下稳定含F反应层的形成过程和沉积、刻蚀过程的关系以及稳定含F反应层对刻蚀的影响.揭示了低能F原子刻蚀SiC...
关键词：分子动力学 刻蚀 能量 SIC 
分子动力学模拟不同入射能量的SiF_2与SiC的相互作用
《真空科学与技术学报》2011年第3期376-380,共5页赵成利 秦尤敏 吕晓丹 宁建平 贺平逆 苟富均 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(2009GB104006);贵州省优秀青年科技人才培养计划(700968101)资助的课题
采用分子动力学模拟方法研究了入射能量对SiF2与SiC样品表面相互作用的影响。本次模拟选择的入射初始能量分别为0.3,1,5,10和25 eV。模拟结果显示SiF2分解率与Si和F原子的沉积率有密切的关系。沉积的Si和F原子在SiC表面形成一层SixFy薄...
关键词：分子动力学 分解率 沉积率 SixFy薄膜 
入射能量对H2^＋与SiC表面相互作用影响的分子动力学模拟被引量：1
《核聚变与等离子体物理》2011年第1期85-90,共6页孙伟中 赵成利 刘华敏 张浚源 吕晓丹 潘宇东 苟富均 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项资助课题(2009GB104006);贵州省优秀青年科技人才培养计划资助课题(700968101)
用分子动力学方法研究了入射能量对H2+与SiC样品表面相互作用的影响。模拟结果表明,在H2+轰击SiC样品表面的初始阶段,样品中H原子的滞留量增加较快,其后,增加的速率减慢,并逐渐趋于饱和。入射能量越大,样品中H原子的滞留量也就越大。样...
关键词：分子动力学 入射能量 滞留H原子 刻蚀 
聚变堆中H刻蚀碳氢薄膜的分子动力学模拟被引量：1
《真空科学与技术学报》2011年第3期320-325,共6页吕晓丹 秦尤敏 赵成利 宁建平 贺平逆 苟富均 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(批准号:2009GB104006);贵州省优秀青年科技人才培养计划(批准号:700968101)资助的课题
使用分子动力学方法模拟了低能H原子与碳氢薄膜的作用过程,以了解基于核聚变装置中等离子体与C基材料的相互作用机制。模拟中使用REBO(reactive empirical bond order)势函数来描述C-H体系中原子间的相互作用,并使用Berendsen热浴来控...
关键词：分子动力学 碳氢薄膜 吸附 刻蚀 
分子动力学模拟不同入射能量的CH与碳氢薄膜的相互作用被引量：2
《真空科学与技术学报》2011年第2期138-143,共6页秦尤敏 吕晓丹 赵成利 宁建平 贺平逆 A.Bogaerts 苟富均 
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(2009GB104006);贵州省优秀青年科技人才培养计划(700968101)
本文使用分子动力学方法模拟低能CH与碳氢薄膜的相互作用,以探讨在核聚变过程中CH的再沉积行为及对面向等离子体材料性质变化的影响。选择的入射能量分别为0.3,1,5,10 eV。模拟结果表明随着入射能量的增加C原子与H原子的吸附率增加,且...
关键词：分子动力学 碳氢薄膜 再沉积 吸附率 
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