等离子增强化学气相沉积

作品数：61被引量：196H指数：7
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[例61]等离子增强化学气相沉积DLC薄膜在汽车零部件上的应用被引量：1
《中国表面工程》2020年第1期2-2,共1页雷霈 帅小锋 
等离子增强化学气相沉积(PECVD)是借助微波、磁场、射频等使含有薄膜组成的气体在电场中成为等离子体状态,产生化学上非常活泼的激发态分子、原子、离子和原子团等促进化学反应,在工件表面上形成薄膜的技术。该技术的主要优点是沉积温...
关键词：等离子增强化学气相沉积 汽车零部件 化学惰性 涂层工艺 耐腐性 形成薄膜 工件表面 涂层表面 
PECVD制备六方金刚石结构碳氢薄膜被引量：1
《中国表面工程》2013年第4期55-59,共5页曹忠跃 张斌 魏利 张俊彦 
国家自然科学基金(51275508);国家重点基础研究发展计划(973计划)(2013CB632300)
利用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)在单晶硅(100)表面上制备了一层含有六方金刚石结构的碳氢薄膜。采用透射电子显微镜和拉曼光谱仪对薄膜结构进行表征;并用Nano-indenterⅡ型纳米压痕仪和CSM—摩擦磨损试验机对薄膜的力学性能...
关键词：等离子增强化学气相沉积 碳氢薄膜 六方金刚石 摩擦性能 
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