等离子增强化学气相沉积

作品数：61被引量：196H指数：7
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《硅酸盐学报》
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作品数：9168被引量：49998H指数：66
issn：0454-5648cn：11-2310/TQ
主办单位：中国硅酸盐学会
发文主题：英文 陶瓷 混凝土 力学性能 显微结构
发文领域：化学工程 一般工业技术 理学 建筑科学 电气工程
《南京大学学报（自然科学版）》
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作品数：4055被引量：16902H指数：40
issn：0469-5097cn：32-1169/N
主办单位：南京大学
发文主题：英文 大学学报 数值模拟 自然科学 粗糙集
发文领域：自动化与计算机技术 天文地球 理学 医药卫生 生物学
《物理学报》
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作品数：30104被引量：93908H指数：65
issn：1000-3290cn：11-1958/O4
主办单位：中国物理学会;中国科学院物理研究所
发文主题：电子结构 第一性原理 第一性原理研究 等离子体 X
发文领域：理学 电子电信 机械工程 一般工业技术 电气工程
《电子工业专用设备》
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作品数：6615被引量：4738H指数：18
issn：1004-4507cn：62-1077/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
发文主题：半导体 半导体设备 集成电路 半导体产业 晶圆
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《人工晶体学报》
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作品数：10454被引量：20034H指数：27
issn：1000-985Xcn：11-2637/O7
主办单位：中材人工晶体研究院有限公司
发文主题：晶体生长 晶体 水热法 性能研究 晶体结构
发文领域：理学 化学工程 一般工业技术 电子电信 电气工程
《中国表面工程》
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作品数：3651被引量：13081H指数：38
曾用名：表面工程
issn：1007-9289cn：11-3905/TG
主办单位：中国机械工程学会
发文主题：涂层 再制造 摩擦学性能 激光熔覆 摩擦学
发文领域：金属学及工艺 一般工业技术 机械工程 理学 化学工程
《超硬材料工程》
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作品数：2593被引量：2398H指数：12
曾用名：超硬材料与宝石；珠宝；珠宝科技
issn：1673-1433cn：45-1331/TD
主办单位：中国有色桂林矿产地质研究院有限公司
发文主题：金刚石 超硬材料 金刚石工具 钻石 人造金刚石
发文领域：化学工程 金属学及工艺 经济管理 轻工技术与工程 一般工业技术
《微纳电子技术》
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作品数：4652被引量：7349H指数：21
曾用名：半导体情报
issn：1671-4776cn：13-1314/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域：电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
《光电子．激光》
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作品数：9250被引量：25331H指数：31
曾用名：应用激光联刊
issn：1005-0086cn：12-1182/O4
主办单位：天津理工大学
发文主题：FBG 光电子学 激光 光纤光栅 光纤
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 机械工程 医药卫生
《真空科学与技术学报》
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作品数：4335被引量：9136H指数：22
曾用名：真空科学与技术
issn：1672-7126cn：11-5177/TB
主办单位：中国真空学会
发文主题：磁控溅射 真空 性能研究 数值模拟 等离子体
发文领域：一般工业技术 理学 电子电信 金属学及工艺 机械工程
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