三层结构

作品数：1118被引量：3140H指数：21
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具有三层结构的SU-8胶V形微电热驱动器被引量：10
《光学精密工程》2012年第7期1500-1508,共9页张然 褚金奎 王海祥 陈兆鹏 
国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2011CB302101)
为解决SU-8胶微电热驱动器在工作过程中存在平面外运动的问题,提出了一种具有铜-SU-8胶-铜三层对称结构的新型SU-8胶V形微电热驱动器。采用刚度矩阵方法建立了包含被驱动结构刚度的微电热驱动器力学模型,并针对一种柔性微夹钳,利用该模...
关键词：SU-8胶 微电热驱动器 微夹钳 结构设计 
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