陈兆鹏

作品数：2被引量：13H指数：2
导出分析报告
供职机构：大连理工大学更多>>
发文主题：微机电系统技术SU-8胶微操作微力传感器金属更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《光学精密工程》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
具有三层结构的SU-8胶V形微电热驱动器被引量：10
《光学精密工程》2012年第7期1500-1508,共9页张然 褚金奎 王海祥 陈兆鹏 
国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2011CB302101)
为解决SU-8胶微电热驱动器在工作过程中存在平面外运动的问题,提出了一种具有铜-SU-8胶-铜三层对称结构的新型SU-8胶V形微电热驱动器。采用刚度矩阵方法建立了包含被驱动结构刚度的微电热驱动器力学模型,并针对一种柔性微夹钳,利用该模...
关键词：SU-8胶 微电热驱动器 微夹钳 结构设计 
集成铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器的制作被引量：3
《光学精密工程》2011年第12期2935-2940,共6页褚金奎 陈兆鹏 张然 
国家自然科学基金资助项目(No.51175056);国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2011CB302101)
由于SU-8胶的弹性模量比硅的低,在SU-8胶悬臂梁上集成金属压阻可获得很高的力灵敏度系数,因此本文基于SU-8胶设计并制作了一种集成蛇形结构铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器。介绍了制作微力传感器的新型工艺,并进行了传感器性能...
关键词：SU-8胶 金属压阻 微力传感器 悬臂梁 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部